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2017年8月22日 (火)

測定と計測は違う意味です

皆さん、よく流量を測る際に使われる”測定”と”計測”は異なる意味である事をご存知でしたか?
これは案外マスフロー業界の人でも使い分けができていなかったりします。

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2017年6月20日 (火)

MFCの動作最大差圧、最低差圧を教えてください

お問い合わせを頂く中で、「マスフローコントローラー(MFC)の動作最大差圧、最低差圧を教えてください。」という内容のご質問がたまにあります。
この質問にお答えするのは、実は難しいのです。

Bronkhorst_mfc

<出展:ブロンコスト・ジャパン(株)

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2017年6月 6日 (火)

マスフロー、流量センサーの流量信号と表示器

マスフローコントローラ(MFC)、マスフローメーター(MFM)の表示(指示)器の選び方に関して、案外知られていない事をお話ししましょう。

測定・計測機器の入出力は、電圧信号(DC 0-5V / 0-10V / 1-5V)や電流信号(4-20mA /0-20mA)があります。
なず表示器の入力仕様が正確に対応していることが条件になります。

電圧信号は電流信号に比べて、電圧ノイズが載った際の影響が大きいことと、電圧自体が抵抗で減衰していくので、長距離伝送には向きません。
また、1-5VDC や 4-20mA というゼロ位置がわざと浮かせてある理由も結構知られていないようです。
これはケーブルが断線を起こした際に、流量0の信号が0Vや0mAでは、判断が付かない為です。
浮かせてあることで、シャットオフバルブで流体の流れを止め流量が0なのに、表示値がおかしいという事態で不具合に気が付くことができるのです。

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2017年5月22日 (月)

2017 年度春季(第94回)低温工学・超電導学会 併設展示会出展してます

5/22(月)、23(火)と 2017 年度春季(第94回)低温工学・超電導学会 併設展示会にブロンコスト・ジャパン(株)さんブースで参加させて頂きます。

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今回初めて参加させていただいた学会なのですが、超電導の世界では既に超伝導コイル冷却用の液体ヘリウムの気化したガス排気をAPCを使った排圧制御を用いて、大気圧変動影響を抑え込む事ができるアプリケーションで実績があるので、それをメインに展示をしています。(下図参照)

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2017年4月11日 (火)

【お願い】マスフローを修理で返却する際は

お使いのマスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)を修理や再校正作業の依頼でメーカーに返却される場合、気を付けて頂きたい事があります。

Bronkhorst_mfc_2

修理依頼品に付けて頂きたいメーカー指定の書式があるとお思いますが、Decoが現役のメーカー時代から、これが記載されていなかったり、不十分なものが散見されます。

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2017年2月21日 (火)

コンバージョンファクターは1つではない

コンバージョンファクター(CF)のお話です。
校正基準ガス(N2もしくはAir)からマスフローで使用するガスへの流量換算係数のことです。

「あるガスのCFを教えてください」というお問い合わせに対し、「メーカー、型式、分流構造、温度、圧力により異なるので、即答はできませんよ。」と回答して、不思議そうな顔をされることがあります。
N2=1、Ar=1.4、といった形の明快な回答をお望みとしたら、すみません。
CFは1つのガスに1つとは限りません。
むしろマルチCFであると考えてもらった方がいいのです。

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2016年10月14日 (金)

ウエハータイプって??

いつも真・MFC千夜一夜物語をご愛読頂きありがとうございます。
マスフローコントローラー、マスフローメーター(以下マスフロー)の技術情報を発信させて頂いておりますEZ-JapanのDecoです。
11月からのリニューアルに先駆けて、今回から”MFC豆知識”というカテゴリーを新設しました。
この世界は奥が深く、偉そうに書いているDecoも全てを網羅してる訳ではありません。
日々、知らなかったこと、新しいものの勉強です。

さて、今回はウエハータイプ(wafer type)という大流量マスフローでの接続方式についてです。

Bronkhorst High-Tech B.V. (日本法人はブロンコスト・ジャパン株式会社 東京都江東区東陽5-27-5)の大流量マスフローのカタログを眺めていて、目に留まったのがこのモデルでした。

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