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2018年4月27日 (金)

ゴールデンウイーク休業のお知らせ

お世話になります。
寒暖差が激しい4月でした。
確実に次の季節へと移り変わるのは、5月の連休明け当たりになるのでしょうか?
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さて、4/28(土) ~ 5/6(日) まで、EZ-Japanはお休みを頂きます
従って5/1は毎週火曜日定例のEZ-Japan BLOGの更新もお休みとなります。
(実はお休み中は、当ブログのアクセスが極端に少なくなってます。皆さん、会社のPCから見て頂いているようですね・・・)

お休みをとられる方、連休中もお仕事の方も、どうかご安全に!
連休明けにまたお会いしましょう!

2018/4/27  EZ-Japan Deco こと 黒田 誠

2018年4月24日 (火)

ご冥福をお祈りします

去る4月17日 日立金属株式会社 (Ex:アドバンスドエナジージャパン株式会社(AE)、日本アエラ株式会社)でマスフローの販売に活躍された 渡邊 政光氏 (享年60歳) が、お亡くなりになりました。

突然の訃報に、Decoも頭が真っ白になってしまうくらいの衝撃を受けました。
二十数年前、当時は東北で半導体製造工場の設備投資が盛んで、シリコンロードと呼ばれ華やかなりし頃に激戦を繰り広げた強豪の御一方でした。

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2018年4月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第249話 マスフローメータ(MFM)の運用に関して その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 2018年4月号(3/25発売)掲載「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」連載第44回は、この連載でも以前にやりました“MFCテスト”です。実際はテストという名目で取り上げた誤解しやすい項目を解説する記事なのです。

 


さて、今回からは、マスフローメータ(MFM)の使用上の注意に関する解説です。
マスフローコントローラ(MFC)の方が、マスフロー(MFMとMFCの総称)としてはメジャーな存在です。


しかしながら “質量流量計”という言葉が用いられるのはMFMに対してであり、MFCは“質量流量制御器“なのです。

MFMは純粋な流量計であるから、本体内にMFCのような流量制御バルブを持ちません。

流量制御を主目的としたMFCは遠隔操作が可能で、フットプリントが小さく、流路のボリュームも少ない流体制御機器を好む半導製造装置に相性が良かっただけで、本来なら熱式流量計としてはMFMが本流なのです。


市場に出回っている形態としては圧倒的にMFCが多い為、熱式流量計としてのMFMを運用する上で気を付けなくてはいけないポイントがあまり理解されていないのではないかな?とDecoは思っています。

今回からの連載で、MFCとは少し異なるMFMの運用上の癖を理解してもらえればと思います。

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2018年4月10日 (火)

ブロンコスト 新製品と新技術発表!

ブロンコスト・ジャパン(株) セールスブログ と Bronkhorst High-Tech B.V. のブログから新製品と新技術の話題を2点ピックアップしてみましょう。

まずは ブロンコスト/マスフローのブログ から MASS-STREAMの新ラインナップがどうやら出てきそうな気配です。
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【出典:ブロンコスト・ジャパン(株)】

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2018年4月 3日 (火)

注意!流量単位には罠がありますよ!!

流量計、特にマスフローコントローラやマスフローメータで使用される流量単位は複雑です。
マスフロー=質量流量 計を謳いながら、質量流量単位g/hを使用する事は希です。

代わりに体積流量単位を使用するのですが、この場合は 温度&圧力条件での定義が必要です。
SCCM=Standard CC/Min  SLM= Standard Litter /Min
*mls/min , ls/min や ml/min[S] ,  l/min[S] も同じSTANDARD(標準状態)を示すが、業界により標準となる温度が異なるので要注意
半導体業界で使用するSCCM、SLMが0℃標準 その他業界で用いるmls/min や ls/min, , ml/min[S] ,  l/min[S]  は日本では20℃だが、USAや中国では更に異なります!

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