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2017年4月25日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第232話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その2

 もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20174月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。

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コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

コリオリ式流量センサーの流量式を下図で示します。

もう何度かこのブログで登場しているので、おなじみの方もおられるかもしれませんね。

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2017年4月18日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第231話 コリオリは完全無欠の質量流量計 その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年4月号(3/25発売)で連載33回を迎えさせて頂きました。
4月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、半導体製造プロセスでよく使用される危険な知億種高圧ガス、その代表格としてモノシランを選んで過去の事故事例を紐解きながら、マスフローを使用する上での注意点を解説しています。

さて、今回からコリオリ式質量流量センサーを搭載したマスフロー(MFC&MFMの総称として使います)のお話です。
コリオリ式マスフロー <出展:ブロンコスト・ジャパン(株)>

Mini_coriflow_m

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2017年4月11日 (火)

【お願い】マスフローを修理で返却する際は

お使いのマスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)を修理や再校正作業の依頼でメーカーに返却される場合、気を付けて頂きたい事があります。

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修理依頼品に付けて頂きたいメーカー指定の書式があるとお思いますが、Decoが現役のメーカー時代から、これが記載されていなかったり、不十分なものが散見されます。

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2017年4月 4日 (火)

(株)タテヤマ製作所 ”マスフローブロアーシステム“

今回の〝EZ-Japanここでもう一押し!”で取り上げますのは再び株式会社タテヤマ製作所(千葉県館山市那古1610-1 代表取締役 テクニカルスペシャリスト 大島 誠さん)のマスフローブロアーシステムです。

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この製品はマスフローメータ(MFM)で質量流量を測定し、ブロアー(JIS表記はブロワ 200kPa以下の吐出圧のものを指す)の回転数を直接制御することで、ブロアー性能の経時変化やフィルターの詰まりなどによる下流側(吸引の場合は上流)の圧力損失変化に影響されず、質量流量制御ができます。

 

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