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2017年2月28日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第229話 MFCの制御不良とは? その11

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年3月号(2/25発売)で連載32回を迎えさせて頂きました。

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3月号では、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種から、水素、ヘリウム、アルゴン、アンモニアを取り上げ、運用上の注意点等を解説しています。
特にアンモニア制御にうってつけのDecoの一押しであるMASS-STREAMも出てきますよ!
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

今回からはMFCは制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。今回は「応答遅れ」ですね。

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2017年2月21日 (火)

コンバージョンファクターは1つではない

コンバージョンファクター(CF)のお話です。
校正基準ガス(N2もしくはAir)からマスフローで使用するガスへの流量換算係数のことです。

「あるガスのCFを教えてください」というお問い合わせに対し、「メーカー、型式、分流構造、温度、圧力により異なるので、即答はできませんよ。」と回答して、不思議そうな顔をされることがあります。
N2=1、Ar=1.4、といった形の明快な回答をお望みとしたら、すみません。
CFは1つのガスに1つとは限りません。
むしろマルチCFであると考えてもらった方がいいのです。

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2017年2月14日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第228話 MFCの制御不良とは? その10

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2017年2月号(1/25発売)で連載31回を迎えさせて頂きました。

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2月号では、コンバージョンファクター(CF)に関する少し掘り込んだ解説から始まり、マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)で使用する流体(ガス)種による注意事項を解説しています。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、「ガス導入時のオーバーシュートが過大」というMFCの制御不良の解説の続きです

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2017年2月 7日 (火)

微小流量マスフローでお困りではありませんか?困ったときのブロンコスト頼み その2

前回からの続きです。

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微小流量のマスフローコントローラ(MFC)&マスフローメーター(MFM)は、なぜ製造が難しいのでしょうか?

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