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2016年12月 5日 (月)

これでガスシステムは大きく変わる!ウルトラコンパクトマスフロー IQ+FLOW&LIQUI-FLOW mini

久しぶりに面白いマスフローのご紹介です。
ガスシステムのフットプリント削減に悩まされている方々には朗報です。
まずは下の写真を見てください。

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下に置いた1円玉と比べてもこのサイズ!
これでマスフローコントローラー(MFC)なんです。
W:40xD:20xH60mmのウルトラコンパクトマスフロー ブロンコスト・ジャパン(株)のIQ+FLOW です。

・MEMS流量センサー搭載のマスフローメータ(MFM)と小型流量制御バルブも内蔵したマスフローコントローラ(MFC)

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流量測定&制御レンジ:最小0.2~10 mL/min 最大 0.1~5 L/min[N] 
応答速度 <300mSec.

・センサー部を小型圧力センサーにしたAPC(Automatic Pressure Controller)タイプ

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入口圧制御タイプ/出口圧制御タイプあり
圧力測定&制御レンジ:最小レンジ 2~100 kPa、最大レンジ 0.02~1 MPa

・そして液体用MFMまであります!こちらは LIQUI-FLOW mini

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流量測定レンジ:最小 1.5 ~75 mg/h  最大 12 ~ 600 mg/h (IPA, H2O)

これらが全てこのサイズで提供されます。

今までのMFCのサイズを10mm小さくしてコンパクトと名乗っていたのが正直恥ずかしくなるようなウルトラコンパクトサイズのマスフローです。
しかも、装置、機器組み込み等のOEM用途である程度まとまった数量購入が年間で約束されれば、貴社オリジナルのマニホルドタイプMFCでのカスタマイズ設計を承ります。

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装置のガスシステムをコンパクト&軽量にできるメリットを実現する、なかなかIQの高そうなマスフロー IQ+FLOW&LIQUI-FLOW miniシリーズのご紹介でした。

お問い合わせはEZ-Japan Decoまで!

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