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2016年12月27日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第226話 MFCの制御不良とは? その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20171月号(12/26発売)で連載30回を迎えさせて頂きました。
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月号では、ブロンコストハイテックさんの最新コリオリ式マスフローによる微小流量測定&制御、そしてギアポンプ等の流量制御機器を制御したドージングシステムを紹介しています。

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本ブログと併せて、宜しくお願い致します。


さて、今回からはマスフローコントローラー(MFC)は制御しようとするのだけれど、その流量制御の過程がおかしな場合のお話です。
・ハンチングして安定しない
・ガス導入時のオーバーシュートが過大
・応答が遅くて規定時間内に流量制御できない
・出流れが発生して、低流量設定時のみ流量が制御できない

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・高流量設定時のみ、SV>PVとなり流量が頭打ちする
・流量制御が落ち着いた後、一時的にドロップしたりオーバーシュートしたりする
・流量制御はできているが、ゼロ点がどんどんずれて調整不能

こういったトラブルに関して、その要因を見ていきましょう。

 

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2016年12月20日 (火)

MASS-STREAM その2~アンモニアを低差圧大流量制御できるマスフロー!

アンモニア(NH3)ガスは可燃、有毒ガスですが、各種用途で使用されています。
窒化炉、発電設備、脱硝装置、石油精製装置の防食、イオンエッチングプロセスなどがあげられます。
アンモニアは20℃での蒸気圧は0.857MPaの液化ガスです。
液化ガスと通常ガスとの差は字のごとく液化ガスボンベには圧縮した液体と化したアンモニアが封入されていて、それがボンベ内で気化したガスを供給する仕組みなのです。
つまりボンベに充填された液体アンモニアがボンベ内で気化して得られる圧力は、常温で0.8MPaあればいいところなのです。

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2016年12月13日 (火)

(株)テムテック研究所 新世代圧力センサーHYZシリーズ

12/14-16 東京ビックサイトにて、セミコンジャパン2016が開催されます。
本ブログでもおなじみの 株式会社テムテック研究所(本社:東京都中央区月島2-7-13 代表取締役 相澤 満芳さん 以下 テムテックさん、)も今年はホール3のWorld of IOTエリア 小間番号3826  と 前工程エリア 小間番号5009にダブル出展と張り切っておられるようです。
テムテックさんは圧力センサーを中心に、「貴方の会社の開発室」をキャッチフレーズにユニークな製品開発を行っておられるメーカーさんですが、今回の目玉の一つである圧力センサーの集大成的な製品“HYZシリーズ“に関してお話を伺ってきました。

HYZシリーズは初のデジタルセンサーです。

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40万台以上の生産実績を持つ同社の圧力センサーの中でも特に半導体プロセス分野でHYPシリーズ、ARHシリーズが培ってきた高い信頼性をベースに、開発目標1.ゼロドリフトの低減(温度特性の向上)、2.ケーシングの剛性アップ、3.小型化を実現すべくHYZシリーズは初のデジタル圧力センサーとしてデビューしました。

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2016年12月 5日 (月)

これでガスシステムは大きく変わる!ウルトラコンパクトマスフロー IQ+FLOW&LIQUI-FLOW mini

久しぶりに面白いマスフローのご紹介です。
ガスシステムのフットプリント削減に悩まされている方々には朗報です。
まずは下の写真を見てください。

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