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2016年10月14日 (金)

ウエハータイプって??

いつも真・MFC千夜一夜物語をご愛読頂きありがとうございます。
マスフローコントローラー、マスフローメーター(以下マスフロー)の技術情報を発信させて頂いておりますEZ-JapanのDecoです。
11月からのリニューアルに先駆けて、今回から”MFC豆知識”というカテゴリーを新設しました。
この世界は奥が深く、偉そうに書いているDecoも全てを網羅してる訳ではありません。
日々、知らなかったこと、新しいものの勉強です。

さて、今回はウエハータイプ(wafer type)という大流量マスフローでの接続方式についてです。

Bronkhorst High-Tech B.V. (日本法人はブロンコスト・ジャパン株式会社 東京都江東区東陽5-27-5)の大流量マスフローのカタログを眺めていて、目に留まったのがこのモデルでした。

161014_02

”あれ?フランジじゃないんだ。どうやって固定するんだっけ??”
wafer typeって書いてあるのですが、微小流量マスフローがメインだったDecoには、ウエハー?半導体のシリコンウエハー?しか思いつかず、写真を見て悶々としててもいけないので、早速ブロンコストさんに聞いてみました。

すると、即座にメールで送ってきていただいたのがこの図です。


161014_01

161014_03


大口径の配管に流量計を設置する際によく見かけるフランジ同士でマスフローを挟み込み4点とか8点のボルトで締め付ける設置方法ですね。
緑色のリングがOリング、それより大きいリングがセンターリングだそうです。
センターリングで接続する配管とマスフローの中心出しを行い、位置決めができるのです。

なるほど!写真からぼんやりとイメージして悶々としていたのがスッキリしました。
ブロンコスト・ジャパン(株)さん、ご協力ありがとうございます。

これからも千夜一夜物語で取り上げる程でもなく、でも知ってると得をするような豆知識を掲載していきますね。
よろしくお願いします!

EZ-Japan Deco

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