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2016年8月31日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第222話 MFCの制御不良とは? その4

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年9月号(8/25発売)で連載27回を迎えさせて頂きました。
今回はMFC(マスフローコントローラー)で水素を使用する際の解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの制御不良のパターンの解説です。
MFCが流量制御できていない場合、その制御異常の内容は何でしょうか?

前回は設定信号(SV値)と流量信号(PV値)が一致しているのに、実流量がずれている場合を取り上げ、ゼロ点のずれが及ぼす実流量への影響に関して解説しました。
実はゼロ点のようにガスをシャットすれば見える異常はまだよいのです。
実際にMFCが制御している流量を検証しないとわからない制御流量と実流量のズレという問題はもっと厄介です。

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2016年8月27日 (土)

パンテック 第2回ピザ祭り<8/28>

暑いですね。
ここ数日、営業車(という名前のピンクの軽)で走りまわていたのですが、ウインドウガラスを通しての熱線に、クーラーが負けそうで、腕や顔をジリジリ焼かれそうです。
日々新しくご紹介できるマスフローや流量計の新ネタを仕込んでおりますので、今しばしお待ちくださいね。

さて、昨日の夕方都内から戻り、遅い昼食兼夕食をパンテックさんで買ったら、こんなチラシを頂きました。

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2016年8月10日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第221話 MFCの制御不良とは? その3

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年8月号(7/25発売)で連載25回を迎えさせて頂きました。
今回はMFC(マスフローコントローラー)と手動流量制御弁(ニードルバルブ)との関係の解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの制御不良のパターンの解説です。
MFCが流量制御できていない場合、その制御異常の内容は何でしょうか?

2.設定信号(SV値)と流量信号(PV値)が一致しているのに実流量がずれている場合
1と違いMFCは正常に動作している(はず)にも関わらず、流量がずれてしまっているというパターンですね。
例えば100SCCM設定でSV値が入力されていて、MFCからのPV値が100SCCMで出力されているにも関わらず、実流量を測定したところ、90SCCMしか流れていなかった!という場合です。

 

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