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2016年4月14日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第213話 圧力式MFCとは?その4

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年4月号(3/25発売)で連載22回を迎えさせて頂きました。
今回はMFC(マスフローコントローラー)の周辺機器に関する解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、圧力式MFCのお話です。
Alicat社のラミナーフロー式(層流式)マスフロー(MFC&MFM)を御紹介しましょう。 

160414_01_2

Alicat製品の構造、特長を示すラミナーフロー式センサー周辺の構造をご説明します。
入口から入った流体は、ラミナー部に導かれます。
ラミナーに入る前に温度センサーが直近でのガス温度を測定します。
ラミナー上部にはその両端から上流圧、下流圧を計測する為のポートが伸びており、その先には差圧を測定する絶対圧センサーがマウントされています。
ラミナーの層流素子を通過したガスは出口前で再度合流し下流に導かれます。
このようにセンサーを含むガス流路構造は至ってシンプルです。(下図)

160414_02_2

Alicat社のマスフローの仕様は、下図の通りです。

160414_03_2

従来の巻線式流量センサータイプのマスフローに対して、精度、応答性能に勝り、更にMFCに対しては流量レンジ比(最低制御流量vs最大制御流量の比)で上回るスペックを示しています。
これに匹敵するスペックを提示できる熱式センサー搭載タイプのマスフローは、SENSIRIOM社やAzbil社のようなチップ(MEMS)型センサーを採用して、ガスへ直接接触型の流量計測を行っている製品があるくらいですね。

次回からはこの圧力式マスフローの特長を更に掘り込んで解説させてもらいます。

*本記事作成に当たりAlicat社日本総代理店 日本スターテクノ(株)さんに資料を提供頂いてます。
ありがとうございます。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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