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2016年3月30日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第211話 圧力式MFCとは?その2

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20164月号(3/25発売)で連載22回を迎えさせて頂きました。

今回はMFC(マスフローコントローラー)の周辺機器に関する解説記事となっております。

本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて圧力式MFCとはどういったものかというお話です。

圧力式MFCとは、差圧式流量センサーを搭載した差圧式流量計で、オリフィスのような絞り部を設け、その上流下流の圧力差を測定することで流量を導き出す「絞り式流量計」と、層流素子を使用した「層流式流量計」に分類されます。

 

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2016年3月23日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第210話 圧力式MFCとは?その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20163月号(2/25発売)で連載21回を迎えさせて頂きました。
今回は高温用MFC(マスフローコントローラー)に関する解説記事となっております。

本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、今回からご説明するのは、最近Decoもお客様に質問されることが多い、圧力式MFCとは?というお話です。
まず最初にAPCPI-MFCと圧力式MFCと、の違いは、おわかりですか?

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2016年3月15日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第209話 MFCの継手のお話 その11

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年3月号(2/25発売)で連載21回を迎えさせて頂きました。
今回は高温用MFC(マスフローコントローラー)に関する解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、11回渡ってMFCの継手のお話をしてきましたが、今回で一区切りとなります。
今回は締めの雑談的なお話です。
今までお話ししてきた内容で、Decoさんどことなく他人事な表記が多いなぁという印象を持たれた方がおられるかもしれません。

 

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2016年3月 7日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第208話 MFCの継手のお話 その10

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年3月号(2/25発売)で連載21回を迎えさせて頂きました。
今回は高温用MFC(マスフローコントローラー)に関する解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、前回IGS(Integrated Gas System)で使用されている表面実装型(サーフェスマウントタイプ)=ダウンポートタイプのMFCの注意点としてシール方式のお話をさせて頂きました。
黎明期のIGSには色んなシール方式が存在していましたが、現在では半導体製造装置向けに限れば「Wシール」「Cシール」に二分されていると言って良いと思います。

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