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2016年3月23日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第210話 圧力式MFCとは?その1

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20163月号(2/25発売)で連載21回を迎えさせて頂きました。
今回は高温用MFC(マスフローコントローラー)に関する解説記事となっております。

本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、今回からご説明するのは、最近Decoもお客様に質問されることが多い、圧力式MFCとは?というお話です。
まず最初にAPCPI-MFCと圧力式MFCと、の違いは、おわかりですか?

APCとはAutomatic Pressure Controller の略語ですから、自動圧力調整器であり、圧力センサーからの圧力信号に基づき、上流、若しくは下流の圧力を制御する機器のことです。
構造上はMFCの兄弟分ですという、解説を以前させて頂きましたね

160323_01

 

 

PI-MFCも解説済みで、PI=Pressure Insensitive略で圧力変動影響緩和型MFCのことです。
急峻な圧力影響から流量制御を守る機能を搭載したMFCですね?
 

 

160323_02

では圧力式MFCとはどういうものでしょう?

この名称自体、少し謎な表記なのですが、本来MFCが搭載している熱式流量センサーではなく、圧力センサーを用いて流量を計測するギミックを積んだMFCのことです。
重要なのはAPCと異なり、あくまで圧力式MFCは流量制御の為のデバイスであって、圧力制御用ではないことです。
APC
は 「圧力センサーで圧力をセンシングして、流量制御バルブで流量を制御した結果、上流もしくは下流に生じる圧力を制御する機器」であるのに対して、「圧力式 MFCは圧力センサーを用いて流量をセンシングし、流量制御バルブで流量を制御する機器」であるということをご理解頂きたいと思います。

圧力式MFCとは、差圧式流量センサーを搭載したMFCのことを指すのが一般的です。
差圧式流量センサー=差圧式流量計は、オリフィスのような絞り部を設け、その上流下流の圧力差を測定することで流量を導き出す「絞り式流量計」と、層流素子を使用した「層流式流量計」に分類されます。

詳しい解説は次回から始めましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

 

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