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2016年3月 7日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第208話 MFCの継手のお話 その10

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年3月号(2/25発売)で連載21回を迎えさせて頂きました。
今回は高温用MFC(マスフローコントローラー)に関する解説記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、前回IGS(Integrated Gas System)で使用されている表面実装型(サーフェスマウントタイプ)=ダウンポートタイプのMFCの注意点としてシール方式のお話をさせて頂きました。
黎明期のIGSには色んなシール方式が存在していましたが、現在では半導体製造装置向けに限れば「Wシール」「Cシール」に二分されていると言って良いと思います。

日本で(株)フジキンさんが開発したWシールは、同社のUPG継手の技術をベースにしています。(UPG継手はDecoも液体用でお世話になりました。)
詳しくはフジキンさんのHPをご覧頂くと良いと思います。
それに対してCシールはUSで産まれたシール規格で、Wシールとは全く異なる構造です。
シールの構造に関してはマスフロー屋のDecoは門外漢なので、各メーカーの説明にお任せします。
正直MFCの性能には関係が無いところだので・・・
実際各々のシールを採用した機器がどのようなものになるかを(株)テムテック研究所さんの圧力センサーの底面シール部の図があったので、それを観てみましょ う。

160307_01


圧力センサー、レギュレーター、バルブはMFCとは異なるスクエアなディメンジョンでIGSにマウントされていますので、この形状が長方形の両端で接続するMFCと同じというわけではありません。
実はいい資料が見つからなかったのです。
いずれ写真かなにかでMFCのWシールとCシール形状は掲載しますね。(MFCメーカーさん、資料もらえませんか?)

肝心な事は前回もお話ししたのですが、自社の装置で採用されているMFCのIGS対応シールはどちらであるか?(2000年代の300mm装置だとこの2 種以外にシール方式がありました。)を把握して、何かMFCにあった際に、速やかにMFCメーカーと連携が取れるようにしておくことです。
わからなければ、MFCに貼り付けてある銘板に記載されたモデルコードやシリアルナンバーを使ってメーカーに問い合わせましょう。

継手なら継手口径、オスメス、種類、IGSならば1.5インチなのか?1.125インチなか?MFCはスタンダードサイズか、コンパクトか、シールの種類は?こういった要素を一つ踏み外しただけで、代替品で購入したMFCがいざ交換作業となった際に、取り付けられないという考えたくもないような事態が発生してしまうのです。
そんな肝を冷やす体験は、しない方がいいですよね?

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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