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2016年2月17日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第206話 MFCの継手のお話 その8

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2016年2月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さて、MFCの継ぎ手のお話は前回からIGS(Integrated Gas System)で使用されている表面実装型(サーフェスマウントタイプ)=ダウンポートタイプのMFCのお話です。

IGSに使われているMFCは、従来の継手仕様のMFCとどう違うのでしょうか?
これはダウンポートタイプという言葉が示しているように、MFCやマスフローメーター(MFM)の流体出入口が下側にあるのが大きな特徴です。
下の写真で比較してみましょう。 

160217_01


写真はITWジャパン株式会社さんから提供頂きました。
同じGFシリーズのMFCで違いは左側が1/4“VCR継手仕様、右が1.125”IGS対応ダウンポートタイプです。
ダウンポートタイプのガス入口&出口は底面にあるのでこの写真では見えませんが、並べてみれば一目瞭然ですね。

基本的に現在使用されているIGS用ダウンポートタイプMFC&MFMには大きく分けて2種類の形状があります。スタンダードサイズと言われるポート間寸法92mmピッチのものと、コンパクトサイズと言われる79.8mmピッチのものです。
それぞれをVCRタイプのものと対比して憶えておくとわかりやすいので、以前使った表を再掲載しておきます。

151102_01


IGS対応は更に奥行き寸法で1.5インチ仕様と1.125インチ仕様が存在します。
底面から見た図を見て頂くとわかりやすいと思います。

160217_02


こんなイメージです。
組み合わせとして4つあることになりますね。
IGS黎明期はUSが1.125“スタンダード、日本は1.5”コンパクトが多かったのですが、最近では1.125”コンパクトというサイズも存在しています。1.5“スタンダードというのも無いわけではないのですが、大きなものより小さなものが好まれるのはIGSのフットプリントを小さくするという思想からすると当然かもしれませんね?
でも、これだけではないのです。
更にIGSで重要になってくるのはシール方式という部分で、いくら1.125“スタンダードというサイズはクリアしていても、シール方式が異なれば取り付けることが出来ません。
そのお話は次回に。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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