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2016年2月 3日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第205話 MFCの継手のお話 その7

もう一つのMFC千夜一夜物語である日本工業出版さんの「計測技術」誌の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も20162月号(1/25発売)で連載20回を迎えさせて頂きました。
今回はスイスからやってきた最新のCMOS流量センサーを搭載したMFC(マスフローコントローラー)であるSensirion社製品をDecoがパソコンで動かして遊んでみた少しライトな記事となっております。
本ブログと併せて、宜しくお願い致します。

さてMFCの継手の話の7回目ですが、今回からIGS(Integrated Gas System)で表面実装型(サーフェスマウントタイプ)で使用されるダウンポートタイプのMFCのお話に入りましょう。

えっ?それってなに?とおっしゃる方と、うちでは当たり前に使っているよ!とおっしゃる方に二分されるのがIGSかと思います。 

 

 

160102_01

 

 

写真はフジキン()さんのカタログから引用させて頂きました。
興味を持たれた方は、フジキンさんのHP  ”集積化ガスシステム”からDLしてみてくださいね。

写真を見ると固まり感がある、なかなかいかめしいブロック状のシステムですが、良く見ると見慣れた配管=パイプがほとんど見えない事に気がつかれると思います。
一般的な配管フローをIGSにした場合のイメージを以下の図で示します。

 

160102_02

配管と継手で二次元方向にバルブやレギュレーター、MFC等を繋いでいく手法に対して、IGSは配管に変わるベースブロックがあり、各機器は水平方向ではなく垂直方向にガスの出入り口(ダウンポート)を設けて、このブロック上に並べて行く形で設置されます。
サーフェスマウント(表面実装)という言葉がよくこの形態を表しています。
こうなると配管と継ぎ手が無くなる分短い距離で各機器を設置できることになりますね。

このIGSが効力を発揮するのは、半導体製造装置のような微少流量多系統のガス制御を行うガスパネルをデザインする場合です。

再びフジキンさんのカタログから引用させて頂きます。(Decoの絵よりわかりやすいかと思いますので・・・)

160102_03_2


通常配管と継ぎ手で構成される4系統のガスパネルが上の絵です。
それに対してIGSにすることで、非常にフットプリントの小さな4系統ガスパネルが構成できる事がおわかり頂けるかと思います。

更にIGSの利点は、全ての機器を上方へ着脱することが出来るので、メンテナンスでの機器の交換が非常にやりやすくなるというものがあります。
半導体製造装置の腐食性の強いガスラインのメンテナンスでは、不具合修理のためのMFC交換作業がつきまといます。

通常の継手の場合、継手の脱着に狭いガスパネルの中へスパナを2本差し込まねばならず、更にドライバーでMFC自体をパネルに固定しているビスを緩めて抜かなければいけませんし、LOK継手のような食い込み継手の場合は、不具合機器の継手だけではなく周囲の機器の継手を緩めていく必要すらあります。

こういった面倒な作業を解消してくれる素晴らしいシステムがIGSなのですね

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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