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2015年10月21日 (水)

今週の更新はお休みです

今週の更新は、Decoが風邪をこじらせてしまった為、お休みさせて頂きます。
皆様、今年の風邪は気管や肺に炎症を起こして高熱が続き、おまけに咳が酷くて不眠になります。
呉々もご用心ください。

Deco EZ-Japan

2015年10月14日 (水)

TSF&EZ-Japan共同開発 ワイドレンジ標準流量発生器 DDU-S4

京都府京田辺市/八幡市にある Total System Factory(代表 奥西泰男さん 以下T.S.F.と略記)の流量制御ユニットDDUシリーズにEZ-Japanとのコラボで新シリーズが誕生しました。

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2015年10月 7日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第196話 MFCで使う用語のお話 その13

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
9月号/10月号は特集記事が盛りだくさんで、その誌面レイアウトの都合で休載です。
連載再開は11月号なのでお待ちください。

さて、「MFCで使う用語のお話」も長期シリーズ化していますが、カタログで見掛ける語句を理解頂く良い機会だと思うので、もうしばらく続けますね。

リークレート

マスフローコントローラー(MFC)単体での気密性能の評価項目です。
JISでは「ある条件下で,あるリークを通過する定められた気体のスループット」と書かれています。
このリークとは外部リークの事で、MFCの流量制御バルブの閉じきり性能(内部リーク量=出流れ量)を定義しているのではありませんので、注意してください。

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