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2015年8月27日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第194話 MFCで使う用語のお話 その11

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
(9月号は誌面レイアウトの都合で休載だそうです。)
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

応答性
この言葉の具体的な定義の前に、少しお話をさせて頂きます。
マスフローの応答性とういうスペックは、マスフローメータ(MFM)とマスフローコントローラ(MFC)では異なるプロセスを踏んでいます。(下図参照)

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2015年8月19日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第193話 MFCで使う用語のお話 その10

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。
さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。

・動作圧力、動作差圧
この用語は流量制御バルブを持つマスフローコントローラ(MFC)に限定されます。
前回説明した圧力影響とは全く異なる特性です。

 

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2015年8月 6日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第192話 MFCで使う用語のお話 その9

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

・ 圧力影響

MFC(マスフローコントローラ)及びMFM(マスフローメータ)に供給される流体の供給圧(入口圧)変化がマスフローに搭載されている熱式センサーへ及ぼす影響を表します。
「マスフロー(質量流量)だから圧力影響を受けない」という誤解を受けやすいのですが、特に測定対象が圧縮性のある気体(ガス)である限りは、この影響は免れる事は難しいです。

 

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