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2015年8月19日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第193話 MFCで使う用語のお話 その10

日本工業出版さんの「計測技術」誌での「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。
さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。

・動作圧力、動作差圧
この用語は流量制御バルブを持つマスフローコントローラ(MFC)に限定されます。
前回説明した圧力影響とは全く異なる特性です。

 

MFCの流量制御バルブの構造は、以下の図のようになっています。
(あくまで一般的なソレノイドアクチュエーターを用いた流量制御バルブの模式図であり、全てのMFCが必ずこうだという訳ではありません。)

150818_01


一般的にMFCのセンサーの下流側には、流量制御バルブユニットがあります。
流量制御バルブは、オリフィスを閉止しているバルブプラグパーツをアクチュエーターによって動かすことで、オリフィスへ流体が流入する隙間=ギャプを制御し、流量を制限する方式が主流です。
その為、圧力条件(MFCの入口圧、出口圧)に応じたオリフィス径と最大ギャップ量を初期設定して、MFCを製作しなくてはいけません。
それ故に圧力条件の変動に対して必ずしも万能であるとは言えません。なぜならオリフィス径は固定であり、ギャップの設定も一度出荷前に行ったものは、容易に可変できないからです。

何度も連載でお話ししていますが、MFCはポンプのように自ら流量を作り出すのではなく、一定の圧力損失を作り出すことで流量を(制限して)作り出すというコンセプトの流量制御機器ですので、MFCが動作するには、圧力損失が必ず発生し、それがそのまま最低動作差圧に直結していると言うことなのです。

よく混同されますが、ほとんどの場合、動作圧力の最大値=耐圧ではありません。
最大動作圧力を超え、耐圧以下の領域は、流量制御動作は保証出来なくとも、MFCが破壊されることはない圧力であると考えて下さいね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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