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2015年7月29日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第191話 MFCで使う用語のお話 その8

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年8月号で17回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。
さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。

・温度影響
MFCの説明会をさせて頂いた際に、「マスフローの流量センサーは熱式ですから、当然温度影響を受けるのです。」という説明をしたら、講習会で半分くらい の人がうなずき、残り半分は不審な顔をされたことがあります。
不審な顔をされた方々は「温度・圧力影響を受けないのが質量流量計であるマスフロー」という知識を持った方なのかと思います。
「温度・圧力の影響を受けないのが質量(流量)」であるが、「質量流量計が温度・圧力の影響を全く受けないわけではない」という理屈でして、Decoの思うところ理想 の質量流量計であるコリオリ式流量計でも、振動するチューブ自体のバネ定数への熱影響は無視できないですし、ましてや熱の移動を量る熱式流量センサーに とっては、環境温度変動は大きな問題なのです。

温度影響に関するスペック記載は、以下の二通りが挙げられます。
1つは「温度保証範囲」という定義です。
15~35℃、5~45℃という温度範囲での仕様を保証、または使用を推奨するという記載です。

もう一つは、「温度係数」という表記方法です。
この表記方法はスパンとゼロ点を別々に定義するメーカーもあります。
例えばスパン:0.005%F.S./℃、ゼロ:0.001%F.S./℃といった形ですね。
ゼロ点に対する温度影響は、設置された環境温度でゼロ点調整することで解消することが可能である事は以前もご説明しました。
温度影響はある一方向に出るのではなく、二次曲線的特性を示す事がある為、図のようにあるように「15~35℃範囲で±1%F.S.」といった定義がなさ れる場合もあります。

150728_01

温度影響に関わる内容で、何回かこのブログでも注意喚起をしていますが、MFCの世界では「環境温度=ガス温度である」という前提があることも、まだまだ ユーザーサイドでは認識されていないようです。
これはマスフローを運用する上で、温度に関して一番注意しなくてはならない条件です。
この前提がずれること=マスフローに対する最適な温度補償が行われないことであり、指示された流量の繰り返し性能を大きく損なっている可能性が高いのです。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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