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2015年7月 9日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第190話 MFCで使う用語のお話 その7

日本工業出版さんの「計測技術」での 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年7月号で16回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。
・繰り返し性
よく「再現性」という言葉で定義されているこのスペックですが、実は「繰り返し性」の意味使われている事が多いので要注意なワードです。
再現性と繰り返し性の違いを説明しましょう。

 

繰り返し性に関して、JIS Z 8103では「同一の測定条件下で行われた、同一の測定量の繰返し測定結果の間の一致の度合い」であり、対応英語はrepeatabilityです。
それに対して再現性は「測定条件を変更して行われた、同一の測定量の測定結果の間の一致の度合い」であり、対応英語はreproducibilityです。
この言葉の場合、日本語より英語を比較した方がわかりやすいかもしれません。
繰り返す=repeatに対して、再現する=reproduceという言葉の対比がそのまま、この用語の定義の根幹となります。

MFCのスペックにあるのはあくまで「繰り返し性」です。
全ての条件を変えずに短時間の内に何度かの測定を行った値が一致する度合いの事であり、別環境でその条件を変えてしまったらその範囲にあるかどうかはわからない、という解釈をした方が良いでしょう。
ところが、ユーザー(特に半導体製造装置関連)がMFCに一番期待するのは、精度云々よりも繰り返し性であり、更に一歩進めば再現性であることが多いのです。
「ニードルバルブやオリフィスで流量を設定しても、温度や圧力影響で朝と夜、夏と冬で一定のレシピではガスを供給できない、だからMFCで温度や圧力影響を受けない自動制御を望んでいる。」
というユーザーからの声をよく耳にしますし、実際MFCはその要望に応える便利な機器です。
でも、そういった要望は突き詰めれば繰り返し性ではなく、再現性の保証と言う意味に近いのです。

再現性に関する条件付けは可能ですが、再現性能そのものの検証は難しいです。
ましてそれをメーカーとして製品保証するとなると、やはり繰り返し性という言葉で定義せざるをえないところです。
MFCの販売に携わる方で「再現性は±*%です。」と言う言葉を不用意に使う方をたまに見掛けますが、この言葉に限らず注意して言葉を選ぶ必要があるでしょうね。
決して製品仕様書に書かないようにした方がいいでしょう。
再現性能保証のために、夏冬朝夜ユーザー環境での性能クレームに直面しかねません。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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