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2015年7月 3日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第189話 MFCで使う用語のお話 その6

日本工業出版さんの「計測技術」に書かせて頂いている 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も、2015年7月号で16回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。
・直線性
直線性とはJIS B 0155の定義では「校正曲線が直線で近似される近接の度合」となっています。
対応英語はlinearity。
MFM(マスフローメータ)の一部ではそうではない物もありますが、MFCの出力電圧は流量に対してリニアであるものがほとんどで、その理想直線に対する一致度を表すスペックのことを言います。(下図)

150703_01最新のデジタル多点補正を行ったマスフローでも±0.5%F.S.程度であり、案外良くないことに驚かれる方もおられます。

ここで注意しなくてはいけないのは、メーカーの仕様で精度と謳うときに、この直線性の誤差は含まれているのか?そうではないのか?というところです。
一部の古いMFCでは、直線性誤差とは別と定義していたメーカーもありました。
このことは理想直線=MFCの流量設定値(SV値)ではなく、流量出力=PV値に対する精度保証を行っているという意味に受け取っていいと思います。
直線性の悪いMFC程、この傾向はあるでしょう。
「100SCCMF.S.に流量設定して、±1%の精度保証だから99~101SCCMの間に流量制御されていると思ったら・・・」というやつです。

以前、マスフロー講習会をさせて頂いた際に、マスフローの出力は当然直線性補正がなされていて、理想直線にリニアだと考えておられるユーザーが少なからずおられました。
ですが前述の通り安価なMFM、またはセンサーの分解能を重視してリニアライザーを用いないコンセプトの熱式流量センサーには、ノンリニア仕様も存在するため、そういった思い込みは危険です。
ノンリニアを謳う製品では、このスペックは表記されず、検量線が示されているのが普通ですが、中には提示が無いものもあり、ユーザーで検量線を引いて使用するものもあります。
こういった製品を取り扱うには、それなりの知見を持った熟達した人員が必要になりますから、安いからといって手を出すと困った事になるかもしれません。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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