最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 真・MFC千夜一夜物語 第187話 MFCで使う用語のお話 その4 | トップページ | ありがとう しゅうちゃん »

2015年6月17日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第188話 MFCで使う用語のお話 その5

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年6月号で15回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、今回もMFC(マスフローコントローラ)で使う用語のお話です。

・精度
MFC&MFM(マスフローメータ)の用語で実は一番解釈が難しいのがこの「精度」という表記です。
精度とは、観念的な要素の強い表現であるというのが、Decoの考えです。

 

では、一般的な計測の世界での定義をJISで確認してみましょう。
JIS Z 8103 の定義では「測定結果の正確さと精密さを含めた、測定量の真の値との一致の度合い」となっています。
対応英語は“accuracy”
正確さは「かたよりの小さい程度」であり、精密さは「ばらつきの小さい程度」と定義されています。
それぞれの対応英語は“trueness”“precision”
Decoの認識ですとやはりaccuracyという単語の意味こそがマスフローで使われる「精度」であり、産業技術総合研究所 計量標準管理センター 国際計量室HP用語集にある「測定量について測定された値と真の値との一致度」=“accuracy of measurement”が最も近い表現と考えています。

では、「測定された値と真の値との一致度」というフレーズにある「真の値」はどこにあるのでしょうか?
それはマスフローメーカー各々にあります。
各メーカーのキャリブレーションを行う基準器がそれなのです。
つまりそれは、言い換えるとマスフローメーカーの数だけ真値がある可能性を含んでいるのですが、その事は別の機会にお話ししましょう。
ここで重要な事は2点です。
1.MFC&MFMのスペックにある精度で謳われているのは、メーカーでキャリブレーションした際のメーカーの基準流量器と製品であるMFC&MFMとの流量がどれくらい一致しているかということのみという点

2.ユーザー環境でどういった流量基準器とMFC&MFMを比較しても、そもそもの条件が異なるため、MFC&MFMのスペックに謳われた精度内の結果が出るとは限らないという点

この精度の表示には±1%F.S.(フルスケール)というフルスケールを基準とする表記と、もう一方で±1%R.D.(リーディング)、もしくは±1%S.P.(セットポイント)、±1%M.P.(メジャリングポイント)、いずれも同意で読値を基準とするものに別れます。
この一見似ているように見える表記は、実は全く異なるものです。
下図を参照下さい。

150616_01

一例を挙げると、±1%F.S.仕様のMFC=Aと、±1%R.D.仕様のMFC=B、双方F.S.100SCCMのMFCを比較した場合、 100SCCM(100%F.S.)ではA&B双方とも±1SCCMの精度保証範囲ですが、10SCCM(10%F.S.)では、どうなるかを見 てみると、Aは変わらず±1SCCM、だがBは10SCCMの1%=±0.1SCCMとなる。
つまりBの方がカタログスペック上では「精度の良い」MFCとなるのです。

MFCの精度を検討される際はF.S.に対する表示なのか、それともR.D.に対する精度保証範囲を謳っているのかを読み誤らないようにした方がいいでしょう。
一般的に古いアナログMFCは前者、デジタル&MGMR等の最新型MFCや、MEMSセンサーを採用したデジタルMFCには後者が多いですね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

« 真・MFC千夜一夜物語 第187話 MFCで使う用語のお話 その4 | トップページ | ありがとう しゅうちゃん »

真・MFC千夜一夜物語(第2期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/61752009

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第188話 MFCで使う用語のお話 その5:

« 真・MFC千夜一夜物語 第187話 MFCで使う用語のお話 その4 | トップページ | ありがとう しゅうちゃん »

最近の写真

  • 170807_02_2
  • 170425_02
  • 170801_03
  • 170801_01
  • 170801_02
  • Bronkhorst18_2
  • Bronkhorst17_2
  • Pts001ext_02_2
  • 170711_01_2
  • 170711_01
  • Massflowblower
  • 170702_01