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2015年3月26日 (木)

春ですね!EZ-Japan 今後の展開

冷たい風が吹き荒れた数日でしたが、そろそろそれも南風へと変わり、首都圏は既に桜の開花宣言も出ていますから、一気に週末は春めくのでしょうか?

今回は、軽く4月以降BLOGの展開の予告編です。

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2015年3月20日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第183話 MFCで使う単位のお話 その2

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年3月号で無事1年=12回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

MFC(マスフローコントローラー)で使用されるのは流量単位ですが、校正条件、動作差圧等で圧力単位を使うことが多いので、こちらも要注意です。

SI単位系で認められているのは全てPaで表記しなくてはいけませんが、年配の顧客様だとkg/cm2G を使ったり、USA系はヤードポンド法を慣習的に使い続けているのでpsi(pound-force per square inch)が使われたりしています。

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2015年3月11日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第182話 MFCで使う単位のお話 その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年3月号で無事1年=12回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

実は最近MFC(マスフローコントローラ)の世界に今まで馴染みがなかった方々に、ご説明をする際に、使っている圧力、流量単位がなかかもって複雑怪奇なものであることを再認識しました。
また、ブログの検索ワードにも根強く登場する分野ですので、今回から少し基礎に戻ってMFCで使う単位のお話をしようかと思います。

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2015年3月 5日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第181話 MFCに液体を流してはいけないの?その4

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年3月号で無事1年=12回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます

さて、熱式センサーに液体を流すことはなぜ難しいのでしょうか?というお話です。
前回気泡を抜く方法をお話ししましたが、流量計測制御だけでなく、気泡はその後段のプロセスに影響を与える液体制御では、あまり歓迎されない存在です。
半導体プロセスの常温で固体もしくは液体材料の気化供給のお話を前回させて頂きましたが、例えば液体を定量充填するようなプロセスでもそうですね。
その為、充填プロセスでは液体流量計の積算流量だけではなく、ボトルの重量をロードセルで測定して管理する手法も併用されることが多いのです。

 

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