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2015年3月20日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第183話 MFCで使う単位のお話 その2

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年3月号で無事1年=12回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

MFC(マスフローコントローラー)で使用されるのは流量単位ですが、校正条件、動作差圧等で圧力単位を使うことが多いので、こちらも要注意です。

SI単位系で認められているのは全てPaで表記しなくてはいけませんが、年配の顧客様だとkg/cm2G を使ったり、USA系はヤードポンド法を慣習的に使い続けているのでpsi(pound-force per square inch)が使われたりしています。

150320_01

要注意!ゲージ圧と絶対圧
圧力の0の基点は2種類あります。
1つは大気圧(1013hPa)を0とするゲージ圧で単位の後にGaugeまたはG(g)で表します。 もう1つは真空を基点にする絶対圧で、これはabsまたはA(a)で表します。 
例 kPa(G) 1kg/cm2G、13.3kPa(A)
ゲージ圧と絶対圧では、大気圧分(1013hPa≒0.1MPa)まるまる異なるので、伝達ミスがないように注意しましょう。

半導体装置等ではMFCの二次側が真空チャンバーのため、二次圧が真空と表記されることがあります。
真空を表す単位は、SI単位系では、同じ圧力単位の Pa(A)です。
ところが、現場では長年使われてきたtorrが根強く使われ続けてます。

150320_02

水銀柱ミリメートル(mmHg)と同一の定義で、大気圧で水銀柱の高さが760mmであることからきてます。
*水柱を基準にしたmmAqという単位もあります、大気圧は10,000mmAq。
分解能がよい単位なので微細な差圧表記に用いられていました。

絶対圧単位ですから、換算は簡単です。
でも、未だにPaだと頭の中が混乱してしまうDecoのような方はある年代以上で多いのではないでしょうか?
当然ですが、torrは絶対圧しか表していません。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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