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2015年2月25日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第180話 MFCに液体を流してはいけないの?その3

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年2月号で11回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げますさて、熱式センサーに液体を流すことはなぜ難しいのでしょうか?というお話です。

前回、気泡が混入することで起きるトラブルをご説明させて頂きました。
流量出力が液体と気体により熱を奪われる量が大きく異なることから生じるハンチングは、液体MFC(マスフローコントローラ)での流量制御が破綻を招きます。
まさに「制御バルブは急には止まらない!」です。
例えば積算流量管理である目標値の充填をボトルに行う場合はフローオーバーしてしまいますし、液体MFCの下流に気化器を付けて、常温では液体の材料を気化 して用いるような半導体製造装置プロセスでは、ハンチングの影響だけではなく、一気に流れ込んだ液体が気化器内で気化できずにそのまま下流へ行ってしま い、最悪はチャンバー内のウエハーに到達してしまう問題を引き起こします。
液体MFCを使用される場合は、気泡対策が肝心なのです。

 

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2015年2月11日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第179話 MFCに液体を流してはいけないの?その2

日本工業出版さんの「計測技術」誌上の「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年2月号で11回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、熱式センサーに液体を流すことはなぜ難しいのでしょうか?
この原因は、気体と液体での密度にあります。
ご存じの通り、同じ流体で液体と気体での密度は大きな開きがあります。
例えば水(H2Oの液体状態) 0.999972 g/cm3@4℃でほぼ1g/cm3です。
それに対して水蒸気(H2Oの気体状態)では、0.598kg/m3=0.000598g/cm3@大気圧、100℃になります。
H2Oは密度の大きさでいうと液体>固体>気体という珍しい順番になる異常液体ですが、液体>気体の関係は他の物質と同じです。

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2015年2月 3日 (火)

Total System Factory 新製品 流量制御ユニットDDUシリーズ

京都府京田辺市/八幡市にある Total System Factory(代表 奥西泰男さん 以下T.S.F.と略記)が、2月4日(水)に発表する新製品 流量制御ユニットDDUシリーズをご紹介します。

T.S.F. は関西を拠点に長年培ってきたガス制御装置(ガス混合装置・定流量装置・炉体用雰囲気ガス制御装置) 、ガス加湿装置(定露点発生装置・ガスバブリングユニット) 、ガス露点測定装置・水循環ユニット・実験室、研究室の専用ユニット設計・製作から、一品モノの特殊配管部品の製作までを請け負う流体制御一筋!のクラフ トマンシップに溢れるユニークな存在で、本ブログの常連さんです。 

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