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2015年1月28日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第178話 MFCに液体を流してはいけないの?その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載も2015年2月号で11回目を迎えさせて頂きました。
これも一重に、本ブログや連載をお読み頂いている皆様のおかげと思っております。
改めてお礼申し上げます。

さて、MFC(マスフローコントローラ)のお話をつらつらと続けておりますが、今回からは今まであまり触れてこなかったお話です。
それは「液体」です。
よく、圧縮空気をコンプレッサーでMFCに送り込んだり、低蒸気圧ガスをMFCのバルブオリフィスで断熱膨張により液化させてしまって、MFCの中に液体が偶発的に入り込んだ状態のお話はさせて頂いたかと思いますが、液体そのものをMFCで流量測定、制御するお話は未出かと思います。

MFCのカテゴリーに、液体用MFCというものは存在しています。
しかし、ここで言う液体用MFCには大きく分けると、多くのMFCが搭載している熱式(サーマル)センサーによるものと、コリオリ式センサーを搭載したものに別れます。

おさらいで両方式の原理を以下に挙げておきます。

150128_01

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140413_02

真・MFC千夜一夜物語 第152話からの “MFCと質量流量計の関係”という記事の中でこの2種に関し少し触れました。

そして、各々の長所短所を説明したときに、以下のように図示しています。

140319_01

これだけ見ると、熱式センサーを積んだMFCは気体用で、液体用はコリオリの守備範囲だと理解されるかもしれません。
では、なぜ熱式は液体を苦手とするのでしょうか?
今回の連載はその内容にスポットを当てるとともに、液体用熱式センサーの最新の動向に関してもお話をしていこうと考えています。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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