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2014年11月19日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第174話 MFCとニードルバルブのちょっと複雑な関係 その5

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

さて、マスフローコントローラ(MFC)とニードルバルブの関係をお話ししてきました。いずれも自動制御か、手動制御かの違いこそあれ基本的に「流路抵抗を変化させることで、流量を可変する」デバイスです。
その為、直列に繋ぐと色々と問題が生じます。

これらは並列に配置するのがよいので、お薦めはこういった形です。

 

141119_01


ただ、これですとニードルバルブのラインでは流量を確認出来ないので、マスフローメータ(MFM)を置きたいところですが、コスト的に難しいならフロート式流量計等を奥手もあります。

141119_03


この時、注意して頂きたいのはMFCとフロート式流量計の示す流量値です。
フロート式流量計は、体積式流量計ですから、温度・圧力を適切に選定して校正されていないと、指示値に影響でます。
例えばこのフローで流量計の二次側が大気開放=0MPa(G)仕様の流量計を使用した場合、下流側に圧力損失となる機器が配置され、尚且つリアクターがあるので圧力は決して大気圧ではありません。

または、前回、前々回お話しましたMFCをバルブ全開にして圧力損失の大きなMFMとして使用するフローです。

141119_02


これは流量制御に慣れた方(プロ)向けですね。
MFCから自動流量制御する際に、ニードルバルブが下流側で大きな抵抗=圧力損失となってしまわないように、バイパスを設けてあるのが特徴ですね。

最後にこれはNGですという例です。

141119_04


たまに「MFCが流量制御しない」、「MFCの指示値が間違っている」というご相談を頂き、現場にお伺いすると、こういったフローで使っておられるときがあります。しかもニードルバルブを思いっきり絞って・・・今までお話ししてきました内容で、この使い方がなぜNGかはおわかりになられますね?

MFCとニードルバルブのちょっと複雑な関係のお話でした。
それではまた!

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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