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2014年8月 5日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第165話 ゼロ点って、いつ調整すればいいの?その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

前回は現場で手を動かすことの重要性をお話ししましたが、ではMFC(マスフローコントローラー)の話に戻ってみると、ユーザーが直接現場で調整作業される項目は思いの外、少ないかと思います。
唯一あるのはゼロ点調整です。
なぜならばMFCのゼロ点は、ずれることでそのまま制御流量に影響を与えるクリティカルな箇所であり、なおかつMFC本体が必ずしも故障していなくても、色んな状況で調整する必要が出来するファクターであるからです。

 

以前の連載でゼロ点ズレの原因と、その調整方法はお話しをしています。
でも、「ゼロ点調整は、どのタイミングでやればいいのでしょうか?」という質問に対する回答には不十分であったと先日感じる事がありまして、再度取り上げさせて頂くことにしました。

マスフローメーカーさんでは、取扱説明書に記載されているところもあるのでしょうが、このブログにも「ゼロ点ズレ」「ゼロ調整」といった 検索ワードでお越しになる方が絶えないところを見ると、Decoも含めてMFC業界の人間はわかっているつもりでも、ユーザーの視点での説明が不足しているのかな?という思いもあります。
そこでもう少し具体的にお話をさせて頂く為に、調べてみると各マスフローメーカーさんで定義されているのは

1) MFCを最終的に使用する姿勢固定後
2) ウォームアップ時間経過後
3) MFCへのガスの流れを遮断し
4) MFCの流量出力信号のある値以上の場合
5) ゼロ点を各々のMFCに定められた手順で調整する

こういった流れになります。
では、この流れをもう少し具体的に見ていきましょう。
まず1)MFCを最終的に使用する姿勢で固定ですが、これはゼロ点に対する姿勢影響の問題が絡んできています。

140804_01r

通常型のセンサーを積んだMFCの場合、ゼロ点調整を行ってから、姿勢を図のように床に垂直な方向から90度、壁に垂直なマウントに変えた場合に生じる内部に封じ込められたガスの対流現象によって発生します。
このズレ量は一律ではありません。
ガスによる差、センサー方式の差、封入されている圧力の差等が原因です。

次回はこの現象に関して、もう少し説明しましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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