最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 四国計測工業株式会社 高効率熱交換器 EXシリーズPart3 | トップページ | 赤ん坊猫がやってきた!<センシリオン 温湿度センサーでの環境管理> »

2014年7月 9日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第162話 MFCに異物が混入した場合 その5

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。ありがとうございます!

さて、MFC(マスフローコントローラー)に異物が混入した場合に生じるトラブルを説明して参りました。
今回は流量制御を行うバルブ、オリフィス部分です。
この物語でも、何度かMFCの流量制御バルブの図解をしております。その際には以下のようなデフォルメした絵を見て頂いていますが、実際は少し異なります。

140709_02_2


 

それはオリフィス部分の描画省略です。
MFCの制御流量は、このオリフィス径で決定されています。
毎分数十ccしかガスを流さない場合、その径は1mm未満に設定されることが多いのです。

140709_01_2

この狭い部分に異物が詰まるとどうなるでしょうか?
当然MFCは設定信号と流量信号を合致させるよう制御しますので、狭くなった分だけ減った流量を、バルブの開度でまかなうようバルブアクチュエーターをもっと開く制御をして対応します。
ですから、少々の詰まりだけでは特に問題はありません。
でも、それは当然つまりの程度により限界があります。

MFCのバルブ開度は、製作条件、F.S.(フルスケール)流量、ガス種、圧力条件等に応じて、少々の余裕は見て設定されます。
ただ、あまりに余裕を見過ぎると、制御性能=バルブ開度の分解能の問題があるので、5SCCMのMFCのバルブが同じ条件で5SLMまで流せるような開度の余裕を持つことはありません。
つまり、がんばって開度を大きくしていっても、いつかは限界が来るよ、ということです。

完全に閉塞に近いツマリの場合は、ほとんどガスが流れない現象も発生します。

140709_03

また、流量設定の低いところは流れるが、F.S.付近は流量がある値で頭うちして流れない現象が発生する可能性があるのです。そして詰まった異物はなかなか除去できません。
運良く圧を上げたパージで飛んでくれることもありますが、たいていの場合MFCメーカーに返却して頂いて、オリフィス交換、再調整などの作業が必要になります。

次回はバルブに異物の話の続きで、今度はバルブシートに異物が挟み込まれた際の問題に関してお話しします。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

« 四国計測工業株式会社 高効率熱交換器 EXシリーズPart3 | トップページ | 赤ん坊猫がやってきた!<センシリオン 温湿度センサーでの環境管理> »

真・MFC千夜一夜物語(第2期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/59953692

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第162話 MFCに異物が混入した場合 その5:

« 四国計測工業株式会社 高効率熱交換器 EXシリーズPart3 | トップページ | 赤ん坊猫がやってきた!<センシリオン 温湿度センサーでの環境管理> »

最近の写真

  • Bronkhorst_mfc
  • 170613_01_2
  • Mini_coriflow_m
  • 161205_02
  • Sli03
  • Sli01_2
  • 170529_03_2
  • 170529_02_2
  • 170529_01
  • 170522_03
  • 170522_02
  • 170522_01