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2014年6月26日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第161話 MFCに異物が混入した場合 その4

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!


さて、MFC(マスフローコントローラー)に異物が混入した場合、困るのはセンサーだけではありません。
センサーとコンビを組んでいる層流素子(バイパス)に異物が詰まった場合、これはセンサーの時と似たような流量異常現象が起きます。

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以前にもお話ししましたが、巻線型分流方式の流量センサーは、センサーと層流素子(バイパス)の分流比が一定になるよう設計されています。
このバイパス部分に何らかの異物が詰まると言うことは、初期の分流比の維持が,難しくなると言うことです。
セ ンサーに10SCCM流れた場合、層流素子には90SCCM流れるから、流量は100SCCM流れているはず・・・というお約束がセンサーが10SCCM ながれても、層流素子が80SCCMしか流れなければ、表示上は100SCCMでも実流量は90SCCMしか流れていないという現象が発生してしまうので す。
(実際は分流比が変化するのでこんな簡単な足し算ではありませんが、イメージとしてご理解ください。)

MFCとMFM(マスフローメータ)の場合、この傾向は反対となります。
MFM は流量測定ですから、実流量より少なく表示する現象が発生したとしますと、流量信号<実流量という異常を起こします。ところがMFCでは、センサー からの流量情報を元に制御を行っていますので、センサーからの流量出力が小さくなったと判断して、流量制御バルブを大きく開いてより流量を稼ごうとしてし まうのです。結果、設定流量より実流量が多く流れるというトラブルを招きます。これは下流のプロセスに深刻なトラブルを起こす可能性が大です。

今回は層流素子に異物が詰まった場合をお話ししました。次回はMFCのもう一つの心臓部、流量制御バルブのオリフィスに異物が詰まった場合です。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan

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