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2014年5月28日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第160話 MFCに異物が混入した場合 その3

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

 MFC(マスフローコントローラー)に異物が混入した場合、今回は液体です。
ガスを制御するMFCに液体が入った場合と、液体を制御するMFCのガスが入った場合、これは同種の問題が生じます。
熱式流量センサータイプならば、巻線型でもチップ(MEMS)型でも同じなのですが、気体と液体という大きく密度の異なる状態のものが混在することで、センサー部の熱のやり取りが大きく異なってきます。

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2014年5月21日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第159話 MFCに異物が混入した場合 その2

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

MFC(マスフローコントローラー)に異物が混入した場合、前回は気体が混入した際の最悪のパターンをお話ししました。
MFCで使用されるガスには危険なガス種が多い傾向があります。
これは半導体製造装置関連が主要マーケットであるMFCの宿命です。
現場では厳重に管理されていると思いますが、例えば安全管理システムを止めて、メンテナンスをしている際など、イレギュラーな状況で「MFC繋がっているこのバルブを開いて良かったっけ?」という疑問を常に持っていないと、“ここは窒素パージラインだから大丈夫だろう“という油断が恐ろしい結果を産むこともありますので、ご注意下さいね。

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2014年5月14日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計 の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

EZ-Japan ここでもう一 押し で バリューインパクトさんのフィルターを取り上げましたが、その前後でMFC&MFM(マスフローメータ)に異物が混入する とどうなるの?というご質問が、意外に多く頂きましたので、再度取り上げてみましょう。

異物と言っても色々あります。
気体、液体、固体と分けて、お話ししていきましょう。

まずは気体です。
「気体用のMFCに別の気体が紛れ込んでも問題は無いよね?」
と思われがちですが、そうではありません。
(液体MFCに気体が入った場合というのもあります。これは別途ご説明します。)

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2014年5月 7日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編

日本工業出版さんの「計測技術」 にて「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

さて、前回コーヒーブレイクのテストを出題してみましたが、今回は答あわせです。

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