最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第159話 MFCに異物が混入した場合 その2 »

2014年5月14日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1

日本工業出版さんの「計測技術」で 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計 の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも一重に、本ブログに多数アクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。
ありがとうございます!

EZ-Japan ここでもう一 押し で バリューインパクトさんのフィルターを取り上げましたが、その前後でMFC&MFM(マスフローメータ)に異物が混入する とどうなるの?というご質問が、意外に多く頂きましたので、再度取り上げてみましょう。

異物と言っても色々あります。
気体、液体、固体と分けて、お話ししていきましょう。

まずは気体です。
「気体用のMFCに別の気体が紛れ込んでも問題は無いよね?」
と思われがちですが、そうではありません。
(液体MFCに気体が入った場合というのもあります。これは別途ご説明します。)

紛れ込んだ気体と本来流れている気体が異なる場合(だから異物ですよね?)気体同士で化学反応があると、当然厄介なことになります。

例えば最悪のパターンは、1991年に大阪大学工学部で犠牲者が出たモノシラン(SiH4)へ亜酸化窒素(N2O)が混入したことで爆発が発生した事件のような事例です。
これは逆止弁の劣化から、亜酸化窒素がモノシランのボンベ容器へ流れ込むという事から派生しました。
MFCのように容積が小さく、なおかつ低圧で使用される部品単独でこのような事件は生じにくいとい考えられますが、ガスラインは読んで字のごとく上流のボンベ容器まで繋がっていますし、困った事にガスの流れは目には見えません。
だからこそ使用されているガス配管フローを熟知し、メンテナンスを欠かさない注意が必要です。

モノシランは、大気中で反応して激しく燃焼します。
MFCから漏れた場合を考えると、空気はMFCのすぐ周りに存在するわけですから、恐ろしいことが生じます。
また半導体製造装置のようにMFC周囲の配管内圧を減圧にして使用されることを考えると、今度は空気そのものが恐ろしい異物と化すこともあるのです。

脱線します。
ここでモノシランを取り上げましたが、半導体産業などで使われる「特殊材料ガス災害防止自主基準」の対象ガス39種というのがあります。
その中でも、可燃性かつ毒性を強く持つ親玉クラスが、モノシランを含めて7種類ありまして、「特定高圧ガス」として高圧ガス保安法でも厳しく取扱を制限されています。

特殊高圧ガス7種 
  ・モノシラン    SiH4
  ・ホスフィン    PH3
  ・アルシン     AsH3
  ・ジボラン     B2H6
  ・セレン化水素  H2Se
  ・モノゲルマン  GeH4
  ・ジシラン     Si2H6 


1)自然発火又は分解爆発性を有する。
2)強い毒性と腐食性を有する。
3)他の物質と急激に反応する。

これら特殊高圧ガスは、微少でも貯蔵・消費(=ガスを入手し所持、及び実際に流す行為です)する事業所では、特定高圧ガス取扱主任者を選任しなくてはいけません。
この特定高圧ガス取扱主任者は、講習により資格を取得できます。
興味を持たれた方は高圧ガス保安協会さんのHP を参照してください。
ちなみにDecoも、”特殊高圧ガス 特定高圧ガス取扱主任者資格” を持っていますよ^^

初回から脱線してしまいました。(いつものことですが・・・)
今回は気体同士が混入する事で生じる最悪の事態をご説明しました。
もちろん反応しないようなガス同士でも問題は生じます。
それは、コンバージョンファクター(CF)=実流量への影響です。
その件は次回お話ししましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

« 真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第159話 MFCに異物が混入した場合 その2 »

真・MFC千夜一夜物語(第2期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/59636846

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1:

« 真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第159話 MFCに異物が混入した場合 その2 »

最近の写真

  • 171015_02
  • 171015_01
  • 171010_01_4
  • 171010_03_2
  • 171010_02
  • Bronkhorst15_2
  • 171003_05_2
  • 171003_03_2
  • 171003_04_2
  • 171003_01
  • Mini_coriflow_m_2
  • 170918_01