最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« 真・MFC千夜一夜物語 156話 MFC(マスフロー)テスト 問題編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1 »

2014年5月 7日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編

日本工業出版さんの「計測技術」 にて「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載をさせて頂いています。
これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

さて、前回コーヒーブレイクのテストを出題してみましたが、今回は答あわせです。

MFCテスト問題(解答)

次の文章のうち正しいと思うものには“○”を、間違っていると思うものには“×”を (  )の中に入れなさい。

(×) 1.MFCは流量を制御した結果、下流の圧力も安定させるので、圧力コントローラーとしての圧力制御機能も有している。
→大気圧開放以外で圧力が安定するのは排気側とのバランスがあるはず。 あくまで流量を起点に制御するMFCと、圧力を起点に制御するAPCの差を理解しないといけません。

(○) 2.ガスがMFCのセンサー管内を流れると、ガス温は上昇する。
→一部の冷却式MFCまでいれると×ですが、一般論と言うことで・・・

(○) 3.コンバージョンファクターは、メーカー、機種、流量によって異なる場合がある。
→分留構造、センサー温度、CF測定条件の差等で異なります。

(×) 4.MFCでは、センサーとバイパスに流れるガスの分流比は設定流量によって変化して一定ではないのが普通だ。
→分流比は一定になるよう設計されます。どんな条件でも必ず一定とは限りませんが・・・

(×) 5.N2で校正されたMFCに比重の重いArを流した場合、N2より少なめに流れる。
→CFの問題です。これは逆ですね。
Arは約1.4倍多く流れます。“比重の重い“がひっかけです。

(×) 6.ノーマリクローズMFCは、緊急時にMFC内部バルブがガスを完全にシャットオフできて安全である。
→出題で“完全に”を”安全に“になっていました。申し訳ありません。 いずれにせよシャットオフはできませんので×です。

(×) 7.ピエゾ圧電素子は高推力、高分解能、高速応答といった特長を持っており、MFCに採用した場合、ソレノイドよりも高速制御できる。
→高速“制御”ですから、アクチュエーターだけ速くてもダメです。センサーの応答が重要になりますので、必ずしもそれだけで高速制御できると言い切れません。

(○) 8.理想的なバルブは、ガス流路に摺動部がなくデットボリューム(空間)が少ない事である。
→Decoが某メーカーのダイヤフラムバルブタイプMFCを販売してた頃の名残ですね^^

(○) 9.デジタルMFCは、アナログMFCより多機能である。
→11と対で引っかけ問題です。 デジタル機器は多機能だが、高性能とは限らないという理屈ですね。

(×)10.MFCは低設定になるほど応答時間は遅くなるが、それはリードアウト出力のみかけ上の問題であり、実流量には影響がない。
→実際のガス制御も遅くなります。

(×)11.デジタルMFCは、必ずアナログMFCよりも精度がよい。
→9とセットで引っかけ問題です。
AD/DAコンバータでの変換ロス、ビット数により必ず精度がいいわけではありません。

(×)12.MFCを取り付け電源投入したら、ゼロ点がわずかにずれていたため、すぐにゼロ点調整を行った。
→センサー部ヒーターが安定するまで30分~1時間ほどの暖機運転をしてからにしましょう。 安定前にゼロ調整しても、またずれていく可能性があります。

(×)13.MFCのソフトスタートとは、通常よりMFCの応答性を遅く調整することである。
→それはスロースタート。よく間違われます。
ソフトスタートは、バルブ全閉状態で待機して、ガスが流れる瞬間に設定信号をいれて制御を始めるモードです。

(○)14.MFCのゼロ点がプラスにずれていたら、実ガスの流量は設定より少なく流れる。
→ゼロ点がずれたら、その流量情報を元に制御するMFCの実流量は?と考えます。

(×)15.MFCのゼロ点がずれていたら、ゼロ点調整ボリュームとスパンボリュームを調整しなくてはならない。
→ゼロ点調整だけにして下さい。基準器無しでスパンを調整すると、流量の傾きが変わりますのでF.Sが大きくずれます。

(×)16. MFCの使用温度範囲が35℃までのものを、一瞬だけ100℃で使用しても、流量はずれるが、故障はしない。
→運が良ければ故障しないかもしれませんが、しないとは言い切れません。
電子部品の一般的な温度上限は70℃当たりですから、一般のMFCでは避けて頂きたいです。

(×)17.MFCを保管するときは、箱から出して真空パックを開封して風通しのいい場所で保管すべきだ。
→たとえクリーンな環境で使わないMFCでも、異物の侵入や吸湿は良いことではありませんので、真空梱包してあるものは開封せずに、保管してあげて下さい。

(○)18.MFCで不具合が発生したため、入念にガスパージをして予備品と交換した。
→特に危険なガスは完全に除去してから交換しましょう。

(×)19.MFCとMFMは基本構造が同じ為、仕様も同じでよい。
→バルブの有無で圧力損失が大きく異なります。
また、MFMにはそもそも設定信号が必要無いので、周辺機器も異なってきます。

(×)20.MFCの電源電圧は±15Vなので、市販の24V電源で駆動できる。
→市販24V電源は+24V電源でマイナス側がありません。
また、電源容量も必ず確認して下さい。

いかがでしたでしょうか?
既にバックナンバーで解説した内容ばかりかと思いますので、この解説ではわかりにくい場合はそちらも参照くださいね。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

« 真・MFC千夜一夜物語 156話 MFC(マスフロー)テスト 問題編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1 »

真・MFC千夜一夜物語(第2期)」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/59600964

この記事へのトラックバック一覧です: 真・MFC千夜一夜物語 第157話 MFC(マスフロー)テスト その2 解答編 :

« 真・MFC千夜一夜物語 156話 MFC(マスフロー)テスト 問題編 | トップページ | 真・MFC千夜一夜物語 第158話 MFCに異物が混入した場合 その1 »

最近の写真

  • Bronkhorst_mfc
  • 170613_01_2
  • Mini_coriflow_m
  • 161205_02
  • Sli03
  • Sli01_2
  • 170529_03_2
  • 170529_02_2
  • 170529_01
  • 170522_03
  • 170522_02
  • 170522_01