最近のトラックバック

無料ブログはココログ

« パンテック 春の感謝day! | トップページ | テムテック研究所 ペーパーヒーター 温紙(アツガミ) »

2014年4月16日 (水)

バリューインパクト 0.0025μm超高洗浄インラインフィルター

横浜にある バリューインパクト有限会社 (本社:神奈川県横浜市中区山下町24-8代表取締役 榎本和則さん、以下 VIと略記)の製品 超高洗浄インラインフィルター をご紹介します。

MFC(マスフローコントローラー)とフィルターのお話は、真・MFC千夜一夜物語 第34夜 “MFCについているフィルターを当てにしてはいけません“ で少しお話ししました。

MFC&MFM(マスフローメータ)に異物が混入するとどうなるでしょう?

よくご存じの方は「MFCならバルブオリフィスが詰まって出流れが生じるよね!」とおっしゃります。そうです。でも、それはまだマシな現象です。
なぜなら出流れ=低流量域制御不良は、MFCの流量信号を見ていればわかるトラブルだからです。

それより恐ろしいのは、センサーや層流素子(バイパス)が詰まることです。

 

MFC&MFMの流量センサーと、それとコンビを組んでいる層流素子は、非常に狭い流路で構成されています。
特にセンサー管はΦ0.30.7mm位の細管です。これはたとえ100L/minクラスで10cc/minの微少流量用それでも同じです。

連載で何度かご説明していますが、巻線式分流型MFCは入ってくる流体全て熱式センサーを通して、その熱移動を計るわけではありません。

層流素子へ流体の大部分を流すことでバイパスさせ、センサー管自体は数cc/minレベルの微少流量を取り出し測定しています。

ここに異物が詰まると何が起きるか?
結論だけ書きますと、流量信号と実流量の間にズレが生じます。

なぜならば、出荷時にある比率で流体がセンサーと層流素子に流れるように設定されていた関係=分流比が狂ってしまうからです。

一般的にはMFCですとセンサーに異物が詰まると、制御している流量は多く流れ、層流素子が詰まると、その逆になる傾向があります。

気がつかないうちにMFCの制御流量が増減していて、それがMFCからの流量出力で捉えられない、これはMFCのトラブルの中でも一番嫌ですね?

MFCやMFMは、自ら異物を取り除くことは出来ません。
もし異物が詰まったら、原則はメーカーでお預かりして、分解洗浄が必要です。

では、トラブルを未然に防ぐ=詰まりを予防するには、何が必要でしょうか?

それはフィルターです。
フィルターにも色々あって、これがベスト!というものは、ありません。

それは異物の詳細(どんな粒子径 の、どんな物質なのか?)からフィルターの濾過精度を選ぶ必要があると言うことと、濾過精度がよい=目が細かいフィルターはその分、圧力損失が大きい傾向 があるので、ガス供給系のトータル圧力損失の中でそれが許容できるか?という、相反するファクターがあるからです。

今回ご紹介するのは、粒子径の細かい異物の混入でお困りの方には最適です。

140414_01

*記載のTKSCT Corporation は、20141月からTK-FUJIKIN corporation TKF)に社名変更されています。

VIさんが取り扱っておられるTKFの超高清浄インラインガスフィルターは、SUS316LとハステロイC-22をハウジングに用い、内面研磨処理を施された半導体プロセス向け製品です。
クラス100クリーンルームで製造から検査、梱包までが完結しており、もちろんHeリーク、パーティクル試験は実施済みです。

そして、多孔焼結金属エレメントをフィルターとして用いることで、驚くべき事に濾過精度 0.0025μmを謳っています!

Decoの知見ですと、ここまでの濾過性能を持つフィルターは、なかなかありません。
それでいて低圧力損失を実現していて、流量範囲も広く選択が可能だそうです。

 なかなか目から鱗な製品でして、早速、先日あるプロセスで、どうしても定期的に上流からの異物がMFCに詰まってお困りの方に、ご紹介させて頂きました。

お使いのMFCが、気がつかないうちに、設定した流量から外れ てガスを流していて、多くの実験結果や、大量の製品を無駄にしてしまった!こんなゾッとするトラブルが発生する前に、MFCの守護神として、ぜひフィル ターに興味をお持ち頂ければと思い、今回取り上げてみました。

詳しくは製品に関して知りたい方は、ぜひVIさんのHP TKF製ガスフィルター製品にアクセスしてみてください。

EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

« パンテック 春の感謝day! | トップページ | テムテック研究所 ペーパーヒーター 温紙(アツガミ) »

ここでもう一押し!」カテゴリの記事

コメント

コメントを書く

(ウェブ上には掲載しません)

トラックバック

この記事のトラックバックURL:
http://app.cocolog-nifty.com/t/trackback/592191/59469580

この記事へのトラックバック一覧です: バリューインパクト 0.0025μm超高洗浄インラインフィルター:

« パンテック 春の感謝day! | トップページ | テムテック研究所 ペーパーヒーター 温紙(アツガミ) »

最近の写真

  • 170807_02_2
  • 170425_02
  • 170801_03
  • 170801_01
  • 170801_02
  • Bronkhorst18_2
  • Bronkhorst17_2
  • Pts001ext_02_2
  • 170711_01_2
  • 170711_01
  • Massflowblower
  • 170702_01