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2014年3月26日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第155話 MFCと質量流量計の関係 その4

 日本工業出版さんの計測技術」誌3月号より 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載を始めさせて頂いてます。
これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

MFC(マスフローコントローラー)の質量流量計としての側面をお話ししていこうと思います。

 
 前回のお話で熱式センサーを搭載したMFCと、コリオリ式センサーを搭載したもののそれぞれの得手不得手のお話をしました。
気体に強い熱式、液体に強いコリオリ、流体の物性、混合比がわからないと弱い熱式等、現在MFCの導入をお考えの場合にそういった特性を理解した上で、製品選定を行うと後々「こんな筈ではなかったのに!」という問題が起こる確立が減ります。

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2014年3月19日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第154話 MFCと質量流量計の関係 その3

日本工業出版さんの計測技術」誌3月号 より 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載を始めさせて頂けることになりました。これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

MFC(マスフローコントローラー)の質量流量計としての側面をお話ししていこうと思います。

質量流量計には大きく分類して熱式(MFCのセンサー)とコリオリ式があります。
コリオリ式は、比較的密度が高い状態(=液体、もしくは高圧状態の気体)に対して大変有効ですが、低圧の気体には不向きです。
低圧・微少流量の気体に対する質量流量計は、熱式で対応するしかありません。
でも、その熱式は流体の物性が明確でない、もしくは物性が明確でも、校正する複数流体の混合比率がわからないような場合は正確な計測ができないという弱点を持っています。

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2014年3月13日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第153話 MFCと質量流量計の関係 その2

 日本工業出版さんの「計測技術」誌3月号より 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載を始めさせて頂けることになりました。これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

MFC(マスフローコントローラー)の質量流量計としての側面をお話ししていこうと思います。

 体積流量計が条件に応じて種々の換算作業が必要なのに対して質量流量計の利点は、温度・圧力条件の換算が不要なので、大変使いやすいという点をお話ししました。
でも、MFCが使っている単位はSCCMのようなある温度・体積での体積を表す流量単位なので、注意が必要です。(おかしな話ですよね?) 
そもそもMFCは質量流量計としての用途より、その繰り返し性能を評価されてのAutomatic Flow Controller としての性格が強く、「使いやすいこと」がキーワードとなっておるからなのです。

 

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2014年3月 5日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第152話 MFCと質量流量計の関係 その1

 

先週告知いたしましたが、この度、日本工業出版さんの「計測技術」誌に連載を始めさせて頂けることになりました。これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

 さて、今回から連載連動企画としてMFC(マスフローコントローラー)の質量流量計としての側面をお話ししていこうと思います
このお話はMFCの根本に関わるお話として、本連載の第3話で一度取り上げています。
「では、質量流量計とは?」というお話はさらっと流してしまいましたので、改めて質量流量計というジャンルの中でのMFCの立ち位置に関するお話をさせて頂きます。

 

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