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2014年3月19日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第154話 MFCと質量流量計の関係 その3

日本工業出版さんの計測技術」誌3月号 より 「マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>」という連載を始めさせて頂けることになりました。これも本ブログに多数のアクセスを頂いている皆様のおかげと思っております。

MFC(マスフローコントローラー)の質量流量計としての側面をお話ししていこうと思います。

質量流量計には大きく分類して熱式(MFCのセンサー)とコリオリ式があります。
コリオリ式は、比較的密度が高い状態(=液体、もしくは高圧状態の気体)に対して大変有効ですが、低圧の気体には不向きです。
低圧・微少流量の気体に対する質量流量計は、熱式で対応するしかありません。
でも、その熱式は流体の物性が明確でない、もしくは物性が明確でも、校正する複数流体の混合比率がわからないような場合は正確な計測ができないという弱点を持っています。

こういった特性を持つ2種類の質量流量計は、その用途に応じて使い分けることになります。
熱式とコリオリ式双方を製品として持っているメーカーさんは、そんなに多くありません。
ITWジャパン株式会社 BROOKS INSTRUMENT はその先駆的存在です。

熱式 MFC&MFM(マスフローメータ)

コリオリ式 MFC&MFM


詳細はメーカーさんにご相談頂くとして、ここでは簡単な例を示しておきます。

例えば流体の状態(ガス、液体)としては・・・

140319_01


例えば流体種や混合比がUNKNOWN(不明)な場合は・・・

140319_02



例えば流量以外の要素も知りたい場合は・・・

140319_03



簡単でしたが、おわかり頂けましたでしょうか?

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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