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2014年2月19日 (水)

EZ-Japanここでもう一押し! 四国計測工業株式会社 高効率熱交換器 EXシリーズ

香川県にある四国計測工業株式会社(本社:香川県仲多度郡多度津町南鴨200番地1代表取締役社長 津田 富造さん、以下 四国計測と略記)の製品 高効率熱交換器 EXシリーズ をご紹介します。

 実は四国計測さんで本製品の開発担当をされている方が、DecoがMFCの営業を始めた頃の大先輩でして^^;
最近、セミコンジャパンの会場で再会しまして、早速取材させてもらったのでした。


 

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 熱交換器=ヒートエクスチェンジャーという機器に馴染みが薄い方もおられるかもしれません。
MFCですと、高温用MFCというものがあり、高温状態のガスを測定・制御しています。
また、液体材料を気化する際には、キャリアガスと言われる高温のガスが使用されます。
こういったプロセスでは、当然使用するガスは室温(もしくはもっと低い温度)のガスを高温にする仕組みが必要です。
言葉で“高温にする“と言うのは簡単ですが、流れているガスを温めるというのは、実は大変難しいのです。
寒い時期にエアコンをいれても、すぐには暖かい空気は出てきませんよね?
ましてや毎分400Lなどという大流量で流しながら、ガスを均一に昇温するのは至難の業です。

 ご紹介する四国計測さんの高効率熱交換器 EXシリーズは、独自の技術で開発された高伝導材封入技術とジグザク流路構造(特許出願中)を採用し、0.1~400L/minまでの流量を、室温+10~400℃までの温度全域に対して、昇温率なんと90%以上を達成した熱交換機なのです。

*昇温率=流体昇温開始後30min経過後の出口温度 / 設定温度 × 100% と定義

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 これはすごいことです。
特に大流量になればなるほど、高温になればなるほど、なかなか与熱することができないのが常です。よくある熱交換機ですと、温度設定は***℃と表記されていても、実際の熱交換機から出てくるガスの温度を定義していないことが多いのです。
つまり「がんばりますけど、結果はわからないよ!」ということですね?
四国計測さんのEXシリーズは、性能に強い自信があるから謳えることですね。
秘密は前述のジグザグ流路で生成する「乱流」にあるようです。
お、MFCでもたまに話が出てくる乱流ですね!

 接ガス部はSUS316Lで、オプションで電解研磨仕様も製作可能とのこと。
半導体プロセス等のクリーン環境や、腐食性の高いガスにも対応できます。
幅広い分野での流体温度制御に利用できそうですね。

 詳しくは四国計測さんのHP 高効率熱交換器 EXシリーズ をご覧になって下さい。

【EZ-Japan ここでもう一押し!】by Deco EZ-Japan

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