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2014年1月29日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第149話 MFC最大の弱点とは・・・ その13

MFC(マスフローコントローラー)もう一つの最大の弱点は急峻な圧力変動でした。
前回は古い世代のMFCを持ち出して「急激な圧力変動が上流で生じる場合、MFCにノンビリ屋のバルブ=動じないバルブがあれば、この問題はクリアできる」という可能性をお話ししました。

実際どうすればいいのだろう?と思われると思いますが、こんなMFCがあればいいことになりませんでしょうか?

 

圧力が急激に変動して困るのなら、圧力をモニターしてくれる圧力センサ(PT)があって、そこで圧力の変動があれば、MFCに「気をつけてね」と通報してく れるような仕組みがあれば、そして、その通報があったときに、MFC自体が制御バルブに自重するように指示してくれればいい、と言うことになりますね。

140129_01


具体的にはこうなります。
・MFCにPTの圧力信号をモニターし、ある閾値以上の急峻な圧力変動が生じた際に警告を出す

・その警告が出た瞬間から一定時間、MFCは流量センサーと制御バルブのフィードバック制御を一時的に停止
する。

・バルブは警報の出る直前のリフト量でホールドしたまま、警報解除時間が来るまで待機する。

・時間が経過したら、MFCは流量センサーと制御バルブのフィードバック制御を再開する。

この流れを処理できるMFCがあれば、急峻な圧力変動影響をキャンセルできます。

そして、各MFCメーカーはそういったMFCを既に開発しています。
PI(Pressure Insensitive)もしくはPTI(Pressure Transit Insensitive)と呼ばれる技術を搭載したMFCです。
果たしていかなる仕組みのMFCなのか?
次回ご説明しましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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