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2013年12月25日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第145話 MFC最大の弱点とは・・・ その9

MFC(マスフローコントローラー)もう一つの最大の弱点は急峻な圧力変動でした。
では、どうすればこの問題を解決できるのでしょうか?

 対策その1は各MFCの上流にラインレギュレーター(調圧器)を設置することです。

 調圧器には2種類あります。
1つはボンベレギュレーターです。
読んで字のごとくガスボンベ用のレギュレーターです。
ボンベの上にある二つ目玉(圧力計)付のバルブのようなものの姿を見たことがある方は多いのではないでしょうか? 

 

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2013年12月22日 (日)

さいたまで美味しいパンを食べたいならパンテックさん!

今回のEZ-Japan ここでもう一押し!のコーナーで取り上げるのは、Pane-Tech パンテックさん=パン屋さんです!

「えっ、普段の流量や圧力がどうのこうのっていうお堅い話からどうしたの?」と驚かれるかもしれません。

 実は今回ご紹介するパンテックさんは、Decoも長くお付き合いさせて頂いている圧力センサーメーカーの株式会社テムテック研究所さんの関連会社さんなのです。
先日のSEMICONジャパン2013のテムテックさんブースでその事をお聞きして、パン好きなDecoは、近所なこともあり、昨日伺ってきました^^

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2013年12月18日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第144話 MFC最大の弱点とは・・・ その8

MFC(マスフローコントローラー)もう一つの最大の弱点は急峻な圧力変動です。

「でも、Decoさん、実際の配管でいきなり供給圧を変化させるなんて事はしないよ。だから、大丈夫じゃないの?」とおっしゃる向きもあるかもしれません。

果たしてそうでしょうか?
以下のモデルでお話ししましょう。

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2013年12月13日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第143話 MFC最大の弱点とは・・・ その7

MFC(マスフローコントローラー)もう一つの最大の弱点は急峻な圧力変動でした。

MFCの前段の圧力が急激に変化した際にMFCの内部で何が起こっているのでしょうか?
圧力が上昇すると当然現在のバルブ開度で流れていたより多くの流量が流れます。
その流量の増加をMFCの流量センサーが検知して、流量信号>設定信号となり、MFCはバルブ開度を閉める方向へ調整して一件落着のはずです。

ところが・・・文章で書くほど簡単にはいかないのでした。
なぜならセンサーが流量を感知するのにはタイムラグがあるからです。
 

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