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2013年11月19日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第141話 MFC最大の弱点とは・・・ その5

MFC(マスフローコントローラー)最大の弱点は何でしょうか?その一つは温度です。

前回、流体の温度=周囲温度という条件が崩れたときにMFCに起きた異常の実例をお話ししました。
この問題がやっかいなのは、MFCの流量表示やアラーム出力から読み取れない種類のトラブルであり、いわゆるサイレント ディジーズ(静かに進行する病気)だからです。

 では、どうすればこういった問題を解決できるのでしょうか?

 

一番簡単な答えは・・・「ガス温度を直接測って、温度補正できるMFCが開発されること!」ですね。
ですが、腐食性ガス等への適用を考えるとこれまた厳しい条件があるのも事実です。

 当面は運用で解決するとしますと、やはり「MFCとそれに繋がるガスラインの温度管理を徹底する」が現実的な解になってくるかと思います。
ガスラインの温度管理は、低蒸気圧ガス等の場合、再液化を防ぐためにヒーティングなどを行っている例がありますが、通常の不活性ガスの場合は、まずそんな温調管理はされていないと思いますし、コストの面からもお薦めできません。

 もっと簡単にできる方法を考えてみましょう。

外気に晒された環境ではなく、あくまで室内の人工環境の下なのですから、ある程度の条件固定で対応はできるはずです。

①最低限空調設備のある居室で使用する

②空調設備から吹きだした冷温風がMFCと配管ラインに吹きかからないようにする

③冷媒や発熱体の近くを配管が通らないようにする

④屋外のボンベからガスを導入している場合は、配管ラインを長く取って室温に馴染ませるか、熱交換器を設ける

⑤ガスの供給圧力を不必要に高く設定しない=絞り部分での断熱膨張による温度低下を避ける

ざっとこんな所です。
熱交換器大仰なものが必要なイメージもありますが、スパイラルに巻いた配管でOKです。
要は距離を稼ぎたいだけですから。

131119_02


Total System Factory さん HPより借用

 何よりも「MFCはガス温と周囲温度がほぼ同じ条件にして使わないといけない」という、今回の連載でお話して参りましたMFCの弱点を認識して頂く事が、一番重要だとDecoは思います。

どんな機器にも苦手とする条件があります。
知らず知らずのうちに、そういった環境で機器を使ってしまう事こそが一番の問題なのですね。

さて、次回からはもう一つあるMFCの最大の弱点です。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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