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2013年9月19日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第131夜 MFCのライバルは?

半導体プロセス用途から、エネルギー、分析分野などに幅広く使われるようになったMFC(マスフローコントローラー)ですが、ではそのライバルとなる機器は、いったいなんでしょうか?

 

黎 明期の半導体プロセスガス制御で、MFCより前に使われていたのは、フロート式流量計(フローメーター)でした。皆さんの中にも馴染みの深い方がおられる かもしれません。簡単に表現しますとガラス管に流量目盛りがきってあって、下から上にガスが流れて、浮き上がった玉(浮き子)の位置で流量を指示するタイ プの流量計です。

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両者の違いをざっと眺めてみましょう。

 

MFC

・熱式センサーで質量流量を計測できる(ある温度圧力の範囲に限定される)

・センサー信号をバルブへフィードバックすることで、温度圧力変化に影響されず流量制御が可能

・流量制御は電気信号で遠隔操作化が可能、流量信号を色々な表示方法や記録に加工できる

・メタルシールタイプは、腐食性・毒性ガスに対応可能

DC電源、流量表示器、設定器を別に必要

・比較するとコストは高い

 

フロート式流量計(フローメーター)

・ガラス管と浮き子の組み合わせで体積流量を表示

・体積流量なので温度・圧力による補正が必要

・流量制御は付属するニードルバルブで手動可変、接点スイッチのようなオプションを除き、目視でしか流量を確認できない

・ラバーシール構造の為、腐食性・毒性ガスに対応不可

・電源を必要とせず、単独で使用可能

・比較するとコストが安い

 

こう眺めてきますとどちらが優れている、という論点でこの二者を論じる事に意味はないですね?その証拠にMFCが台頭した今でもフロート式流量計は流量表示・制御の第一線で使われています。

通信による遠隔操作、危険なガスへの対応といった分野ではMFCに軍配が上がりますが、コスト・電源不要というフロート式流量計の強みが、高く評価される用途があるのです。


そんな理由から、ライバルである両者は今も棲み分けて、お使い頂いている訳なんですね!

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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