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2013年9月17日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第129夜 高温用MFCを使いたいのですが! その7

高温用MFC(マスフローコントローラー)に関するお話をしたいと思います。

 前回、高温MFCの温調に関してお話ししましたが、そこでコールドスポットというお話をしました。そもそもは昇温して気化した材料を再液化しないよう配管系を温めてやるのですが、その基本として「下流側に行くに従ってヒーター温度を上げる=温度勾配を付ける」という手法が推奨されています。

130912_01  しかしながら、配管系に最適な温度勾配を与えるというのは、実はなかなか難しいことなのです。闇雲に下流側の温度設定を高くするだけでは、上手くいかないこともあるのです。

前回お話ししましたように配管機器には個々に熱容量差があります。
更にヒーターが均一に熱をかけることができるのか?ということ、ヒーターの温度制御に使われる測温抵抗体の設置場所による温度測定の誤差、そして温度制御を行う温調器自体の性能の機種や固体差等も要素として存在します。

また、基本的な問題ですが、配管やMFCにちゃんとヒーターを設置できているか?という事もあります。配管はストレートな部位だけではなく、曲げがあったり、エルボー、クロスなどの継手があったりします。現実ではヒーターをそれに密着させるのはなかなか難しいものです。

 高温MFCにヒーターを設置する場所に関して、たまに質問を頂きますのでお話ししておきます。現実にDecoがお伺いした現場で図の左のようなヒーターの巻き方をされていたお客様がおられました。

130912_02

 高温MFCをヒーティングする趣旨を考えて頂ければ当然なのですが、左の例のように気化した材料が接しないような部位を昇温しても何の意味もありません。MFCの接ガス部分は、ほとんどの場合下部のSUSブロックの中にあります。右の例のように底面、もしくは底面+側面を凹字型にヒーティング頂くのが最適な箇所となります。

 MFCを高温用にする、ヒーターをただ設置する、温度を蒸気圧曲線から設定する・・・
それだけでは決して高温材料搬送配管システムは上手く動かないということですね。

 【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

 

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