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2013年9月13日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第128夜 高温用MFCを使いたいのですが! その6

高温用MFC(マスフローコントローラー)に関するお話をしたいと思います。

  高温MFCは高温環境で使用できるMFCですが、自らが昇温機能を持って目標温度まで温度を上げる事はできません。中にはセルフヒーティング型と呼ばれるヒーターユニットをオプション装着した製品もありますが、あくまでそれは装着したオプションにその機能があるという事です。

 

  では、高温MFCを昇温する方法は、どういったものがいいのでしょうか?

一般的な方法としては、2通りあります。

1つは、配管システムごと恒温槽にいれる方法です。

130903_05  

もう1つは配管にテープヒーター等を巻き付け昇温する方法です。

130903_06

 

この方法で昇温するときに留意すべき点があります。

他の配管系と、MFC部分の温調を分けて独立した温度制御を行うことです。前にもご説明しましたがMFCを構成するSUSのボディは他の配管機器や他の配管パイプよりも体積が大きい=熱容量が大きいので、一緒に温度制御をかけた場合、温度センサーの位置によってはMFCだけが充分に昇温されないような事態が生じ、最悪はコールドスポットと化して材料が再液化してしまったりするのです。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

 

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