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2013年9月12日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第127夜 高温用MFCを使いたいのですが! その5

高温用MFC(マスフローコントローラー)に関するお話をしたいと思います。

Decoが高温MFCをお使いになっているお客様からよく頂いた質問です。

「高温MFCって常温から高温まで使用できるよね?」

答えは「できません。」なのです。

高温MFCの「精度保証温度範囲」をカタログ等で確認頂くとわかります。

一般的には校正温度±10℃くらい つまり100℃仕様の高温MFCを依頼した場合、その保証温度範囲は90110℃までなのです。

   堅いことを言うとそういうことなのですが、こういったご質問の背景には、高温環境で原料供給をする場合に高温MFCを使用するのはマストとして、ヒーティング前後にチャンバー内のガス置換やパージで常温ガスを供給したいという要求を1台の高温MFCで対応できないかな?という事情がある場合がほとんどです。高温MFCは常温用MFCの倍から3倍はする高価な買物です。ならば1台2役を期待できないか?常温ではたいした流量精度は要らないのだけど・・・というお考えはわかります。

 

  その場合、精度保証温度範囲ではなく「動作保証温度範囲」をメーカーに確認頂くのも一手です。

どう違うの?とクビを傾げられるかもしれませんが、カタログに記載された流量精度・直線性・繰り返し性等のスペックを維持できる範囲が精度保証温度範囲。それに対して、「スペックは満たさない可能性があるけれどもMFCが設定信号を受けて、流量制御する“動作“はしますよ」というのが、動作保証温度範囲です。

「でも、Decoさん MFCだから精度さえ問わなければ常温でも動作なんとか動作するのではないの?」というご意見もあるかもしれません。

危惧されるポイントは1つ。ゼロ点のズレです。

一般的に高温MFCは常温のそれよりも高いセンサー温度になっています。かなりピーキーな特性だと考えて頂いていいと思います。その為、常温で使用する際には、ゼロ点のズレが大きくなる傾向があります。高温MFCを常温環境で設定信号5%F.S.で流量設定して使用した際に、ゼロ点が+6%F.S.ずれていたらMFCは流量制御動作できるでしょうか?設定入力より流量出力なのですから、MFCは当然バルブを閉める方向に制御してしまいます。もうおわかりですね。MFCは全閉になってガスを流さないのです。

 

  こういった危惧もあり、MFCメーカーさんとしては、高温MFCの常温での使用をオフィシャルに認めることはないと思います。できたらもう1ライン常温用MFCを併用してあげて下さい。MFCを購入する予算がと言う場合は、パージメーターやニードルバルブ、ラインレギュレーターという代用手段もあります。

事故というものはイレギュラーな使い方をした際に発生する確率がグンと上がります。呉々も安全重視でお願いしますね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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