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2013年9月 6日 (金)

真・MFC千夜一夜物語 第123夜 高温用MFCを使いたいのですが! その1

 高温用MFC(マスフローコントローラー)に関するお話を始めたいと思います。

高温MFCとは文字通り高い温度環境で使用するMFCです。

常温用のMFCで大概4050℃が上限温度であるのに対して、高温用で80℃以上、一部では150℃環境でも使用できる超高温用MFCも存在しています。常温では気体ではない材料を、昇温して気化、昇華させ、超高温MFCで流量制御する用途で使われています。

では、高温用MFCと通常タイプではどこが異なるのでしょうか?これは外見わかります。

大まかには以下のような構成になります。

130902_01

 高温MFCというのは、高温環境に晒していい「メカ部」と、常温環境に設置しなくてはいけない「電気部」に分かれて構成されています。高温ガスを制御するという特殊な用途でMFCを使おうとした場合、構成部品の種類により耐熱温度限界が異なるのです。一番先にアウトになるのが電子部品でだいたい80℃以上でアウトになります。その為、熱に弱い部分をMFC本体から分割して高温領域外に逃がした構成にしたものが高温MFCなんですね。

高温MFCの用途では、原料は供給元から反応炉まで、ヒーターを使って昇温したり、恒温槽で温めたりっして、温度勾配をつけて供給されます。どこかにコールドスポット(低温部分)があると、再液化してしまったりしてトラブルになりますから、MFC自体も昇温します。他の配管機器よりも、MFC自体の接ガス部の体積が大きい=熱容量が大きいこと、しかも流量制御用にオリフィスがあり、そこでの断熱膨張による液化の問題もあるため、MFCは他の配管系とは別系統で単独で昇温制御した方がいい結果に繋がるケースがあります。このお話はまた後で詳しくお話ししましょう。

と言うことで、次回から高温用MFCの詳細をお話ししていきます。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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