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2013年9月 5日 (木)

真・MFC千夜一夜物語 第122夜 マスフローの流量は、誰が保証してくれるの?その9

MFC(マスフローコントローラー)流量は、誰が保証してくれるの?と言うお話です。

 平井さんでの校正作業が終わるとJCSS校正証明書が発行されます。

お使いになっているMFC/MFMに対して、使用されている実ガスでの校正結果を証明した貴重な書類です。校正作業は「計器又は測定系の示す値、若しくは実量器又は標準物質が表す値と、標準によって実現される値との間の関係を確定する一連の作業。備考:校正には、計器を調整して誤差を修正することは含まない。」であり、当然お使いになっている流量計の表示する値と音速ノズルを用いた標準流量との間にどのような差があるか?を証明したものです。簡単に言えば「このMFCの表示が100SCCMの時、実は98SCCMですよ」と書いてある訳ですね。

重要なのは「ずれている、ずれてない」ではなく、トレーサビリティの取れた流量体系で貴方のMFCがどの位置に組み込まれているという事の証明を受けることなのですね。この書類さえあれば、世界中のどんなお客様に対しても「うちで使用しているMFCの流量には、このようにJCSS流量校正証明を受けております!」と胸を張ってプレゼンしていただけます。

までの連載で、平井さん取り組まれている音速ノズルを使用した、流量のJCSS校正業務について、その一端でもお伝えできたらと思っております。

 

エピローグとして、平井さんの製品 音速ノズル式気体流量校正器 MRシリーズ をご紹介します。MRシリーズは、今までご紹介してきた平井さんの気体用流量計校正用に熟成されてきた音速ノズルを搭載した流量計です。

N2、ドライエアー、H2Heなどの実ガスで校正された、国際MRA対応のJCSS校正証明書が発行され、国家標準までのトレーサビリティが正しく保証されています。

校正を行う場合、対象となる流量計を平井さんに持ち込んで依頼する方法と、逆にMRシリーズを購入されて、本器をワーキングスタンダードとして社内の流量計を管理する方法、トレーサビリティが取れた体系を管理していく体制が整っていれば、どちらの方法でもアプローチすることが可能です。

 

MRシリーズは、入口圧力条件により、350kPa(abs)以下で使用するLOW PRESSURE」仕様と、700 kPa(abs)以下で使用するHIGH PRESSURE」仕様2種類があります。今までの連載でお話ししてきましたように、下流に設置する被校正対象である流量計の仕様圧力や仕様圧力により使い分けて頂く形となります。


詳しくは株式会社平井 システム事業部 技術研究所 までお問い合わせ下さい

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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