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2013年9月 4日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第121夜 マスフローの流量は、誰が保証してくれるの?その8

MFC(マスフローコントローラー)流量は、誰が保証してくれるの?と言うお話です。

下の写真はMFM(マスフローメーター)の実ガス校正風景です。

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左から順番に実ガスボンベ、レギュレーター、圧力センサ、APC、そしてセンターに主役の「音速ノズル」が並んでいます。使われている圧力センサも、通常の圧力センサの比ではないくらい高額で、その分高性能なものが選定されています。(取材中、金額を聞いて目が飛び出しました・・・)

 

(株)平井さんにMFC/MFMの校正依頼する場合には、注意点があります。

ご存じのようにMFC/MFMはそれ単体では動作せず、電源を供給し、流量出力を取りそれを「表示」する機器との組み合わせで使用されます。平井さんに校正を依頼するとき、装置についているMFC本体だけを送って校正をお願いするという考え方は、MFCの世界では一般的なのですが、このJCSS校正作業の場合は×です。

 あくまで「流量」を校正するという考え方である以上、「流量表示器」との組み合わせでないと校正は受けられないのです。なぜなら電気信号はあくまで「電圧」「電流」といった「流量」とは異なるカテゴリーであり、校正証明書を発行するのは「流量」に対してのみだからです。また使用する表示器が異なることで生じる表示器差という問題もあります。電気信号が必ず同じ流量に変換表示されるとは限らないのですから・・・

「流量表示器」に関しては、下図にあるようなLED表示であったりしても、またはPCの画面であっても構いません。ただ、JCSSの銘が入った校正証明書を取得していることを謳う必要があプロセスで常用する流量表示機器をMFCとセットで持ち込んでいただく必要があるのです。

 

130823_01

「流量計」というものは「流量を計り示すもの」ですね。

故に基本的に表示までが一セットで管理されます。

その点、流量計でありそうで、そうでない扱いをされることが多いMFCは、やはり少し異質かもしれませんね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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