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2013年9月 3日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第120夜 マスフローの流量は、誰が保証してくれるの?その7

MFC(マスフローコントローラー)流量は、誰が保証してくれるの?と言うお話です。

 

今回ご紹介しますのは、音速ノズルに「値付けする」のには欠かすことが出来ない技術です。

値付けする、すなわち音速ノズルを校正するのはどんなものなのでしょうか?

 

流量校正のトレーサビリティに準じてご説明しましょう。

そもそも産業技術総合研究所さんが所有する国家計量標準の「特定標準器」で、平井さんが所有する「特定二次標準器」は校正されています。この「特定二次標準器」は、電子天秤を用いた秤量システムの気体流量校正装置です。電子天秤は重さを量る物ですね?そう、この標準器は気体流量を質量で量る事で校正します。

 

特定二次標準器と電子天秤

120711_01

120711_02

 そしてこの特定二次標準器で、ワーキングスタンダード(実用標準)である音速ノズルを校正し、その音速ノズルで流量計やMFCを校正することにより、トレーサビリティの取れ流量校正が行われるわけです。

ここで使用される電子天秤は非常に高精度な物で、日本に数台しかないそうです。
その電子天秤を正確に作動させるために、写真にあるようにアルミ製の約1m角のチャンバー内に置かれ、真空に引かれた状態で計測されます。

 なぜ真空に引くのか?その理由は「空気の浮力」を打ち消すためです。

我々の暮らす大気は実は高気圧、低気圧という天気図でおなじみの用語でわかるように、気圧変動を続けています。気圧の変動はそのまま「空気の浮力」を変化させてしまいます。

 

 また、地盤が弱いと外部からの振動影響、例えば前の道をトラックが走っていくことで受ける振動影響を軽減すべく、平井さんではシステムの置かれる居室直下の地盤改質を、導入前にわざわざ実施され、他の居室よりも強固な地盤と化しているとのことです。

 

 こういったどちらかと言うと無視、軽視されがちなファクターを一つずつ丁寧に潰しこんで行くストイックなまでの姿勢が、流量校正を極めていくのには必要なのだと、取材中Decoは大変感銘を受けたものでした。まさに「ローマは1日にしてならず」ですね。

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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