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2013年8月27日 (火)

真・MFC千夜一夜物語 第115夜 マスフローの流量は、誰が保証してくれるの?その2

MFC(マスフローコントローラー)の流量は、誰が保証してくれるの?と言うお話です。

「そんなのMFCメーカーに決まっているじゃないか!」とおっしゃる方々は、お手元のMFCの検査成績書をご覧ください。メーカーにより差こそあれ、そこで示されているデータは、窒素(N2)もしくは、何種類かの疑似ガスで採られたデータではありませんか?MFCに記載されているガス種(例えばSiH4NH3)でのデータではありませんね?記載されているのは、校正ガス(N2Air、ごくまれにSF6等)に、それと表記ガスとの流量比の係数であるコンバージョンファクター(CF)を乗算した流量値が書かれているのではないでしょうか?

 

 では、そのCFの裏付けはなんでしょうか?

以前の連載でお話ししているので、記憶頂いている方もおられるかもしれませんが、あるガスは計算値であったり、あるガスは経験値であったり、はたまた実測値と言いながら、あくまで「相対的」な値でしかなかったりします。

 

 しかもCFはMFCメーカー間で共通値でないだけでなく、機種毎、流量レンジ毎、あるガスは圧力や温度でさえ異なり、一つのガスに必ず一つの値ではありません。これでは真の流量値を示すファクターとして適切でないのも当たり前です。

 

 「いやだな、Decoさん。今や世の中には実ガス流量保証しているMGMRタイプがあると説明してたじゃないですか?」という声も聞こえて参りました。

残念ながら実ガスデータベースを前提で構成されたMGMRタイプも、このお題では同じ立場なのです。なぜならば、ほとんどの場合その実ガスデータはRORで採取されており、それはMFCを調整するための校正用ガスであるN2との「相対的な」比率でしかないからです。

 

 では、誰がマスフローの流量にお墨付きをあたえてくれるのでしょうか?

ここに頼もしい助っ人がおられます。

 株式会社平井 システム事業部 技術研究所


音速ノズルを用いた気体の流量測定技術や、流量制御技術の研究を行っております。

気体用流量計の校正における国際MRA対応JCSS校正事業者(ISO/IEC17025適合)の認定を受け、国家計量標準とトレーサビリティの取れた標準器で「確かな不確かさ」を保証した校正業務を実施しています。

また顧客が所有する気体流量計の、トレーサビリティの取れた校正を行うのに適した、音速ノズル式気体流量校正器「MRシリーズ」を製造・販売(MRA対応JCSS校正証明書付き)しています。

*株式会社平井 システム事業部 技術研究所 HPから引用


株式会社平井さんの協力を得て、MFCでの流量校正というものを探求してみましょう。


【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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