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2013年8月21日 (水)

真・MFC千夜一夜物語 第111夜 MGMRはMFC進化の証!? その7

MGMRタイプMFC(マスフローコントローラー)のお話です。

MGMRを進める上での最大の難所ともいえる実ガスデータベース構築のお話しです。デジタルMFC誕生から今日までの、ユーザーさん、メーカーさんの技術の蓄積に加え、電子デバイスとそれを用いたデジタル制御技術の進化でMFC自体はMGMRに対応できるハードとして熟成して来ました。つまり「器」は熟してきた訳です。

ところが、その「器」に入れ込むのに最適化されたガスデータが揃わなければMGMRは成り立ちません。ガス種・比熱・密度・流量レンジ・圧力・温度・・・といったファクターをいくら計算式に当てはめても、それでは従来のコンバージョンファクターと変わりない世界しか現れず、シビアなプロセスマージンを要求する最先端の半導体製造装置用途では役不足であるという要求に対して、メーカーさんが選ぶ選択肢は、「N2と実ガスをMFCに流し、データを採ること」になていきました。

ですが、ほとんどのMFCメーカーさんは、今まで実ガスをMFCに流して、それを何らかの手段で測定する設備を持っていませんでした。それどころか、「高圧ガス保安法」で特に危険度が高いと定められている「特殊高圧ガス」を計測用途とは言え「消費」する限りは、シリンダーキャビネット、除害装置・・・といった設備投資と、所在地の都道府県関係部署への届出、許可等といった初歩の初歩から始めなくてはいけません。

 更に測定そのものを行うのはROR流量検証方式(真空チャンバーにガスを導入し規定の圧力に達するのに要した時間の比較により、ガスの相対的な流量比を検証する方式)設備が必要であり、その検証精度を上げるためには、圧力・温度・チャンバーの体積・・・といった様々なファクターを高い精度で押さえていかなくてはなりません。

また「N2を基準に各ガスの流量比」と一口で言っても、そのN2の「流量」は何で測定し、何をもって定義するか?という基本中の基本もちゃんと見直して理論武装しておかなければ、MGMRの根底が揺らぐことになってしまうのです・・・

こういった設備投資だけでも数千万円必要です。しかも、そのドンピシャな答がどこかの書籍に載っている訳でも、「これを買えば明日からMGMR」等といった設備がどこかで売られている訳ではありませんから、そこに至るまでの人・モノ・時は莫大な投資としてメーカーさんに押し寄せるのです。そこで議論されるのは「ここまで投資してMGMRは売れるの?利益になるの?」という点です。

民間企業である限り、新製品には必ずこういう関門が出現します。

果たしてMGMRはどうなのでしょうか?こういうものはいくら数字を並べようとしても、結局は捕らぬ狸の何とやら・・・です。最終的には経営センスでのGOサインな筈ですが、「他社もやっているからGO!」とか。「お客さんが言うからGO!」だったりもします(苦笑

 

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan 

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