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2013年8月19日 (月)

真・MFC千夜一夜物語 第109夜 MGMRはMFC進化の証!? その5

MGMRタイプMFC(マスフローコントローラー)のお話です。

先般のMFC用語辞典】、マルチガスマルチレンジ(MGMR)の項「だからといって1台で全てのガスと1SCCMから1000SLMまでをカバーできるわけではない」と書いておきました。実はこの記載は今回のお話への伏線だったのですね。

 

 MGMRと言っても、基本構造は従来のMFCと同じフォーマットを踏襲しており、その構造上の限界から、1台で全てのガス・流量に対応できるスーパーマン(スーパーMFC?)ではありません。

実際はN2換算した流量レンジ(メーカーにより異なりますが、だいたい5SCCM50SLMというMFCにとっての一般的なレンジ)に対して十数種のMGMRタイプMFCを予めラインアップすることで対応しています。従って個々のタイプには流量の守備範囲が存在し、これを超えてのガス/流量変更は出来ないことになります。

Mgmr120104_2

 

*本例はMGMRの概念をわかりやすく簡略化した図です。記載内容は特定の企業や製品に関する記述ではありません。

上図で示しましたように、MGMRでガス/流量変更する際にベースとなるMFCは十数種あるのが一般的です。まだMGMRとしてガス&流量レンジの「値付け作業」が済んでいない状態では、まさにネイキッド(裸の)MFCです。

変更したいガス、流量レンジに適応するタイプ、例えば#4を選んで、希望仕様にあわせたデータをPCから通信で送り、MFC内部のメモリーを書き換えることで変更作業が行われます。その書き換え作業に必要な時間は、機種により異なりますが、わずか数分程度です。

こう書きますと、ユーザーサイドでの作業は非常に簡単ですが、メーカーサイドではこの書き込むガスデータを採るのが大変な労力であり、またそのデータの精度がいかに高いか?(実ガスを再現しているか?)がMGMRタイプの性能評価自体を左右するクリティカルな部分なのです。

次回は、その部分をお話ししましょう。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】 by Deco EZ-Japan

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